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2022-08-10 09:51 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
>s;>"] 内容简介 g~v>{F+u Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 -"}mmTa*< 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 sVNM#, 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 "T~ce@ Oe_*(q&
\pwg8p[4Q
1$toowb"Zy 目录 py':UQS*q Preface 1 T[\?fSP 内容简介 2 *f*o
,~8V1 目录 i %-Oo92tP 1 引言 1 [IRWm N- 2 光学薄膜基础 2 T:|PSJc0 2.1 一般规则 2 \ 0J&^C 2.2 正交入射规则 3 ?rSm6V 2.3 斜入射规则 6 [6}>? 2.4 精确计算 7 H"vy[/UcR 2.5 相干性 8 2)4oe 2.6 参考文献 10 0w9[Z 3 Essential Macleod的快速预览 10 |<Rf^"T 4 Essential Macleod的特点 32 3j}@}2D 4.1 容量和局限性 33 gQ;1SY! 4.2 程序在哪里? 33 `F,*NESv 4.3 数据文件 35 56l1&hp8In 4.4 设计规则 35 gBPYGci2F 4.5 材料数据库和资料库 37 o4Hp|iK&0 4.5.1材料损失 38 xL#UMvZ>;h 4.5.1材料数据库和导入材料 39 G5hh$Nmpi 4.5.2 材料库 41 fKkH
[ 4.5.3导出材料数据 43 s+7#Tdh A 4.6 常用单位 43 !W48sZr1& 4.7 插值和外推法 46
.{-C* 4.8 材料数据的平滑 50 =H)"t:xE 4.9 更多光学常数模型 54 V^D!\)# 4.10 文档的一般编辑规则 55 *L+)R*|:& 4.11 撤销和重做 56 n~C!PXE 4.12 设计文档 57 t(Sjo8,
b 4.10.1 公式 58 mZ!1Vh 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 KL^hYjC 4.10.3 沉积密度 59 R\ZyS
)~l 4.10.4 平行和楔形介质 60 ` Clh; 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 +S
C;@' 4.10.4 性能 61 |4?O4QN 4.10.5 保存设计和性能 64 k:sFI @g 4.10.6 默认设计 64 )|Xi:Zd5> 4.11 图表 64 T$vDw|KSVP 4.11.1 合并曲线图 67 qpZR-O 4.11.2 自适应绘制 68 ]J)3y+;P 4.11.3 动态绘图 68 ?o883!&v 4.11.4 3D绘图 69 #z&@f 4.12 导入和导出 73 5rPK7Jh`B 4.12.1 剪贴板 73 )DwHLaLW 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 IuN:*P 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 c@<vFoq 4.13 背景 77 0fP-[7P 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 HCOE'24I 4.15 生成Rugate 84 }Gi4`Es 4.16 参考文献 91 5 4vDP 9 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 T(4OPiKu 5.1 Jobs 92 4pG!m&4]ze 5.2 创建一个新Job(工作) 93 BELxaV, 5.3 输入材料 94 o@j)clf 5.4 设计数据文件夹 95
YIZ+BVa 5.5 默认设计 95 |a{~Imz{ 6 细化和合成 97 w$j!89@) 6.1 优化介绍 97 HHXm
4}!;< 6.2 细化 (Refinement) 98 GAY
f.L" 6.3 合成 (Synthesis) 100 dWDM{t\}\ 6.4 目标和评价函数 101 *@SZ0 6.4.1 目标输入 102 \
N;% 6.4.2 目标 103 KDEcR 6.4.3 特殊的评价函数 104 p0Ra`*f 6.5 层锁定和连接 104 ._A@,]LS} 6.6 细化技术 104 3Sh#7"K3 6.6.1 单纯形 105 G.y~*5?# 6.6.1.1 单纯形参数 106 1?hx/02 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 f zsD 6.6.2.1 Optimac参数 108 Z&[_8Y5j 6.6.3 模拟退火算法 109 *CS2ndp 6.6.3.1 模拟退火参数 109 MF]EX 6.6.4 共轭梯度 111 H(,D5y`k1 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 u>-pgu 6.6.5 拟牛顿法 112 `%nj$-W: 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 R[T94U 6.6.6 针合成 113 d ub%fs 6.6.6.1 针合成参数 114 3Lw&HtH 6.6.7 差分进化 114 \2huDNW&
! 6.6.8非局部细化 115 3wf&,4`EX 6.6.8.1非局部细化参数 115 fOtzbYVC 6.7 我应该使用哪种技术? 116 TeXt'G=M 6.7.1 细化 116 GRq0nhJ 6.7.2 合成 117 D/x!`&.sN 6.8 参考文献 117 uFl19 7 导纳图及其他工具 118 1xsIM'& 7.1 简介 118 #cdrobJ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ~]LkQQ' 7.2.1 四分之一波长规则 119 B?pNF+?'z 7.2.2 导纳图 120 RwyRPc_ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 h-+GS% 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 /@qnEP% 7.5 斜入射导纳图 141 f&ri=VJY\T 7.6 对称周期 141 75?z" i 7.7 参考文献 142 iB0#Z_ 8 典型的镀膜实例 143 i?0+f}5<p 8.1 单层抗反射薄膜 145
Vq>$ZlvS 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 r< ~pSj 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 \#O}K 8.4 W-膜层 148 XjINRC8^4 8.5 V-膜层 149 B;=-h(E}vJ 8.6 V-膜层高折射基底 150 ]sL)[o 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 &U7INUL 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 YOE!+MiO 8.9 四层抗反射薄膜 153 6L}}3b h 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 S#{gCc 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 `j)S7KN 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Fx6]x$3 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ~8l(,N0 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 (]gd$BgD 8.15十五层宽带抗反射膜 159 q"C(`S.@ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 9qcA+gz:| 8.17 1/4波长堆栈 162 {$H-7-O$ 8.18 陷波滤波器 163 & cV$`L 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 M|DVFC 8.20 褶皱 165 (Xv'Te? 8.21 消偏振分光器1 169 g+1&l iV 8.22 消偏振分光器2 171 YggeKN 8.23 消偏振立体分光器 172 _`- trE. 8.24 消偏振截止滤光片 173 &Ay[mZQ 7 8.25 立体偏振分束器1 174 'ugc=-0pd 8.26 立方偏振分束器2 177 ;:DDz 8.27 相位延迟器 178 6#gS`X23Y 8.28 红外截止器 179 t]14bf$*Q 8.29 21层长波带通滤波器 180 lNRGlTD% 8.30 49层长波带通滤波器 181 2*)2c[/0F 8.31 55层短波带通滤波器 182 6>=yX6U1q^ 8.32 47 红外截止器 183 F)n^pT 8.33 宽带通滤波器 184 HY!R | 8.34 诱导透射滤波器 186 !9p;%Ny` 8.35 诱导透射滤波器2 188 9S_PZH 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 4-vo R5Fd 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 aP&bW))CI 8.35 增益平坦滤波器 193 ~H4wsa39 8.38 啁啾反射镜 1 196 /9@[gv
A 8.39 啁啾反射镜2 198 E>I\m!ue 8.40 啁啾反射镜3 199 EJ@&vuDd$ 8.41 带保护层的铝膜层 200 50jZu'z: 8.42 增加铝反射率膜 201 $~c
wB 8.43 参考文献 202 )sZJH9[K 9 多层膜 204 ic;M=dsh: 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Cno+rmsfT 9.2 内部透过率 204 YMr2|VEU[ 9.3 内部透射率数据 205 euiP<[|h= 9.4 实例 206 HE|XDcYO 9.5 实例2 210 6Q*Zy[= 9.6 圆锥和带宽计算 212 xNOArb5e5 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 u8Ak2:
10 光学薄膜的颜色 216 Kg6[ 10.1 导言 216 N> jQe 10.2 色彩 216 pt$\pQ 10.3 主波长和纯度 220 PK).)5sW 10.4 色相和纯度 221 %5$)w;p.$' 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 {|{;:_.> 10.6 色差 226 W\Df:P {< 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 w&[&ZDsK 10.8 颜色渲染指数 234 B&L-Lc2 10.9 色差计算 235 =JNCQu 10.10 参考文献 236 F87/p 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Lm3~< vP1e 11.1 短脉冲 238 CuT50N;tk 11.2 群速度 239 x:$ xtu 11.3 群速度色散 241 8AQ__&nT 11.4 啁啾(chirped) 245 /Os6i&; 11.5 光学薄膜—相变 245 'W*:9wah 11.6 群延迟和延迟色散 246 r#'ug^^k$X 11.7 色度色散 246 dt|| nF 11.8 色散补偿 249 Z^!%
b 11.9 空间光线偏移 256 )_olJCdaP^ 11.10 参考文献 258 Y*/e;mG. 12 公差与误差 260 =1Hn<Xay0 12.1 蒙特卡罗模型 260 ")YD~ZA%) 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 }0V aZ<j 12.2.1 误差工具 267 yu>)[|- 12.2.2 灵敏度工具 271 PH$C."Vv 12.2.2.1 独立灵敏度 271 I%:\"g"c 12.2.2.2 灵敏度分布 275 t>!Ok 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 *3\*GatJ 12.3 参考文献 276 $f?GD<}?7r 13 Runsheet 与Simulator 277 &u2H^ j 13.1 原理介绍 277 J9-n3o 13.2 截止滤光片设计 277 p1UYkmx[ 14 光学常数提取 289 3 <)+)n 14.1 介绍 289 s}F.D^^G 14.2 电介质薄膜 289 m6uFmU*<M} 14.3 n 和k 的提取工具 295 <?>tjCg' 14.4 基底的参数提取 302 A{p_I< 14.5 金属的参数提取 306 "H#pN;)+ 14.6 不正确的模型 306 $5:I~-mx 14.7 参考文献 311 #>M^BOR8 15 反演工程 313 zygH-3C7o 15.1 随机性和系统性 313 2]]}Xvx4# 15.2 常见的系统性问题 314 fjCFJ_ 15.3 单层膜 314 a<J<Oc! 15.4 多层膜 314 a+RUSz;DL 15.5 含义 319 ~BiLzT1, 15.6 反演工程实例 319 bFhZSk) 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 =~ k}XB 15.6.2 反演工程提取折射率 327 0t[ 1#!=k 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 _Q 'f^Kj 16.1 光学性质的热致偏移 329 zs6rd83# 16.2 应力工具 335 &NOCRabc 16.3 均匀性误差 339 >0_{80bdO 16.3.1 圆锥工具 339 ~)F_FS 16.3.2 波前问题 341 7K ~)7U 16.4 参考文献 343 6"?#E[ #[ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 PhAD:A 17.1 引言 345 5=\^DeM@
H 17.2 操作数 345 WcQkeh3n 18 如何在Function中编写脚本 351 8"TlWHF` 18.1 简介 351 :}2T of2 18.2 什么是脚本? 351 T"t.t%(8 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 E@EP9X
> 18.4 基础 352 k< | |