倾斜光栅的参数优化与容差分析

对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。

设计任务 =~k#<q1^
-{$L`{|G

1级参数优化 TF@k{_f
QnIF{TS=

结果-容差分析 1?".R]<{2T
4ZT0~37(

结果-容差分析 kY~o3p<
R]TS5b-

VirtualLab Fusion一瞥 oJ0ZZu?{D
m Wh

VirtualLab Fusion中的工作流程

构建光栅结构
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
−倾斜光栅高级设定[用例]
•光栅衍射效率分析
−光栅阶序分析器[用例]
•使用参数优化进行光栅参数优化
•使用参数运行的容差分析

VirtualLab Fusion技术 ko`KAU<T_
rSNaflYAr

查看本帖完整版本: [-- 倾斜光栅的参数优化与容差分析 --] [-- top --]