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infotek 2022-06-27 09:23

全场光学相干扫描干涉仪

扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ^9 {r2d&c  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ">rt *?^  
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•设置输入场 >TddKR @C  
−基本光源模型[教程视频] hv 8j$2m  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 [nG[@)G~0M  
•定义元件的位置和方向 62{[)jt{  
− LPD II：位置和方向[教程视频] MD=VR(P?eq  
•正确设置通道以进行非序列追迹 l$eKV(CZ4  
−非序列追迹的通道设置[用例] :j( D&?ao  
•使用参数运行检查影响/变化 v9+1[Y";  
−参数运行文档的使用[用例] 2mVLR;s{_  
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