薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 OpL6Y+<  

c"YK+2  

建模任务 lXPn]iLJ  
UeICn@)\y  

9/$P_Q:3  

正弦光栅—透射相位曲线 vUK>4^{J5  
jkP70Is  

正弦光栅—透射相位曲线 'YR5i^:t  
-$)Et|  

正弦光栅—衍射效率 *_QHtZG  
`az`?`i7  

正弦光栅—效率与周期 gkz#kiGF  
.V3Dql@z"  

正弦光栅—特定周期下的相位曲线 Gx!RaZ1  
5 WppV3;  

闪耀光栅—效率与高度（TEA） %'T>kz*A  
X{xJ*T y'  

闪耀光栅—透射相位曲线 erP>P  
`Y\/US70{c  

闪耀光栅—衍射效率 H27Oq8  
#@6L|$iX  

闪耀光栅—效率与周期 I
VzA>Vd  
jN}7BbX  

,*Z[P%<9  
YaZt+WA  

VirtualLab Fusion一瞥 RpK,ixbtA+  
J8v:a`bX&  

:/[YY?pg-  
• 设置光栅结构 m=iov2K>  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] b#;N!VX
 
• 分析光栅衍射效率 DYKV54\ue  
−光栅阶次分析器[用户案例] T:S
{3  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 sR>;h /  
− 利用参数运行文档[用户案例]  .02(O  
) .-(-6=R  

VirtualLab Fusion技术 3zA=q[C  
gqd
B!l4