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infotek 2022-06-13 09:28

使用傅里叶模态法分析闪耀光栅

可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 1,j9(m2  
faq K D:  
 hQm4R]a  
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） A,{D9-%  
 vy@Lu cB  
建模任务 5 DB>zou   
9>R|k$`  
 q&E5[/VK:  
?i~/gjp  
单次FMM仿真结果 >p*HXr|o$  
A E&n^vdQW  
 / D ]B  
gJ.6m&+  
参数扫描（1D） *?D2gaCta  
2Nkn C>9(\  
 v$G*TR<2  
<S$21NtM87  
参数扫描（2D） q=Yerp3~  
   a{*'pY(R0$  
]7t\%_  
C[nr>   
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