用于光学检测的斐索干涉仪

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斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。

建模任务 qC5IV}9`
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观测倾斜平面 d%RH]j4
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观测柱面 c^&4m[?C[u
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观测球面 `Y^l.%AZZ
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走进VirtualLab Fusion 5"(FilM
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VirtualLab Fusion的工作流程

VirtualLab Fusion技术

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