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JCMSuite应用—衰减相移掩模
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infotek
2022-04-02 09:45
JCMSuite应用—衰减相移掩模
在本示例中,模拟了衰减相移掩模。 该掩模将线/空间图案成像到光刻胶中。 掩模的单元格如下图所示:
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掩模的基板被具有两个开口的吸收材料所覆盖。在其中一个开口的下方,位于相移区域。
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