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2022-03-16 10:37 |
从真空镀膜原理、设计到工艺
i 2[8^o`_ 主办单位:广东省真空学会/讯技光电科技(上海)有限公司 t47;X}y f 协办单位:常熟黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) ]zIIi% 授课时间:2022 年 5 月 27 日(五)-29 日(日)共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 Tn\{*A 授课地点:广州(详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅) OKu~Nb* 课程费用:4800 元(包含课程材料费、开票税金、午餐费用) $d.Dk4.ed 授课专家:讯技光电高级顾问&高级工程师 6Tm7|2R 4gmlK,a 课程简介 !i@A}$y 当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时,既可以着手选用所需的基板,镀膜 A4KkX 材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手,例如高反射镜不管波宽大小,开始我 IfI:|w}:"r 们一定是以四分之一波膜堆为设计基础,倘若是截止滤光片,则应以对称膜堆为设计基础。当 + kF%>F] 初始设计无法满足要求时,我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化,设 y Tk1 计好之后,即刻进行制造成功率分析,亦看膜层厚度的误差值的容许度,若是镀膜机的精密度 rx<P#y]3) 做不到,则要修改设计,重新分析直达合格为止。 GI:!,9 透明塑料基板质轻价廉,而且容易成型为非球面透镜,被广泛采用在光学系统中,如眼睛镜片、 #)S&Z><< 相机透镜、手机镜头、及显示器面板,如 OLED,近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 fZnq5rTk" 使其具有吸水性,从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 qamq9F$V 需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射,还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 3+iryW(\ 这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 =xSf-\F Ahr 课程大纲 'coY`B; 8 1. Essential Macleod 软件介绍 Y^8'P /A 1.1 介绍软件 $uRi/%Q9 1.2 运行程序 )vuIO(8F# 1.3 创建一个简单的设计 |=:hUp Jp 1.4 绘图和制表来表示性能 ,*m|Lt%;R 1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 N!-P2) @ 1.6 创建一个默认设计 ={o)82LV 1.7 文件位置 %8YUK/(|n 1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 gp'k(rGH "\5 T
6 1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 :C={Z}t/F 1.10 厚度(物理厚度,光学厚度[FWOT,QWOT],几何厚度) t2m7Yh5B 1.11 单位定义 -q?, 1.12 软件如何进行数据插值 ^^a%Lz)U 1.13 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) VG50n<m9 1.14 特定设计的公式技术 s |o(~2j 1.15 交互式绘图 3 `NSSS 2. 光学薄膜理论基础 WfTl\Dxw 2.1 介质和波 %<U0 2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 M+lr [,c 2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 "2 :zWh7| 2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 t7,$u- 2.5 光学薄膜设计理论 Dg}EI^ d 3. 理论技术 f*p=j(sF 3.1 参考波长与 g @`iz0DPG?Y 3.2 四分之一规则 ,TYFPulYcp 3.3 导纳与导纳图 z 8#{=e 3.4 斜入射光学导纳 gplrJaH@ 3.5 对称周期 >Y|P+Z\7 4. 光学薄膜设计 >
-(Zx 4.1 光学薄膜设计的进展 }I18|=TB 4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 \#F>R, 4.3 光学薄膜设计技巧 >Dz8+y 4.4 特殊光学薄膜的设计方法 15Jc PDV 4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 ##Qy6Dc 4.5.1 优化目标设置 Qx_N,1>S 4.5.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化, GBT219Z@8 差分演化法) vw-y:,5`t8 4.5.3 膜层锁定和链接 ? YluX 5. 常规光学薄膜系统设计与分析 u
Qg$hS 5.1 减反射薄膜 z2#k/3%o= 5.2 分光膜 :0bjPQj 5.3 高反射膜 8~|v:qk 5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 FiXqypT_( )XoMOz 5.6 负滤光片 :EH>&vm 5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 .;(a;f+{; 5.8 Vstack 薄膜设计示例 pkTVQdtRG 5.9 Stack 应用范例说明 E[BM0.#bZ 6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 lB!M;2^)X 6.1 背景介绍 @iBmOt>3 6.2 产品特性 %:OX^^i; 6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 5s>>]
.% 6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 Rh)%; 6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 b7gN|Hw5 H 7. 防雾薄膜 4i<GqG 7.1 自清洁效应 j*d+WZm8-g 7.2 超亲水薄膜 S9'Xsh 7.3 超疏水薄膜 vTL/% SJ8 7.4 防雾薄膜的制备 wbg?IvY[ 7.5 防雾薄膜的性能测试 _3#_6>=M 8. 材料管理 <vb7X 8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 YHxQb$v) 8.2 金属与介质薄膜 J5z\e@?.0\ 8.3 材料模型 Mq#Hi9SKY 8.4 介质薄膜光学常数的提取 TKVS%// 8.5 金属薄膜光学常数的提取 X0]$Ovq( l 8.6 基板光学常数的提取 <)Y jVGG 8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 A-rj: k! 9. 薄膜制备技术 ][XCpJ)8 9.1 常见薄膜制备技术 I$XwM 9.2 光学薄膜制备流程 j zwHb'4B3 9.3 淀积技术 `B$Pk0>5r 9.4 工艺因素 mXyg\5 10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 R0|4KT-i 10.1 光学薄膜监控技术 H. o3d/8: 10.2 误差分析与监控决策 4ti,R' 10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 7g%\+%F
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