蛾眼减反结构设计与加工承接

蛾眼结构可以减少反射率，原因在于：当材料表面纳米结构尺度小于光波长时，光波无法辨认出该纳米结构，而圆锥型的蛾眼结构可以使材料表面的折射率沿深度方向呈连续变化，从而减小折射率急剧变化所造成的反射。
对于抗反射蛾眼2D周期性亚波长结构，需要对其进行严格的矢量计算和分析，通过使用VirtualLab Fusion提供的傅里叶模态法（Fourier Modal Method，FMM）以及参数运行（New Parameter Run）和参数优化（New Parameter Optimization）功能，可以实现不同角度以及不同波长条件下低反射率的蛾眼结构的设计。
目前，我们采用纳米压印技术，可以在玻璃或塑料膜表面制作大面积的蛾眼结构，实现减反效果。在可见光范围内可以将材料表面的反射率降低到小于0.2%。在红外波段，结合纳米压印和等离子刻蚀工艺，可以在硅表面加工蛾眼结构来减少其对红外光的反射。

上图：VirtualLab Fusion设计的抗反射蛾眼结构

下图：加工出来的抗反射蛾眼结构

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wx349643041	2022-06-08 09:11
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