JCMSuite应用—衰减相移掩模

%?@x]B9Y8E   在本示例中，模拟了衰减相移掩模。 该掩模将线/空间图案成像到光刻胶中。 掩模的单元格如下图所示： m^z,,t9   bS,etd   o.v2z~V   #uB[&GG}W   掩模的基板被具有两个开口的吸收材料所覆盖。在其中一个开口的下方，位于相移区域。 NOV.Bs{ yL   anLbl#UV   由于这个例子是所谓的一维掩模(线/空间模式)，在xy平面中有一个2D仿真域。在源文件中设置3DTo2D = yes标签，以执行用户自定义传入方向的自动转换。启用此标记后，就可以描述传入区域，就好像光轴与Z轴重合一样。这允许统一设置2D和3D的掩模模拟项目。由于光线从基板下方进入，光线的传输方向为+Z方向。 P?xA$_+   ]Uu aN8   相位分布如下图所示： & ryiG   >)4.$#H   _<XgC\4O|   :|=- (z   相移区域的影响清晰可见，导致开口上方光束的180度相位差。同时光场的S和P分量也显示出相位差： UBa-   -7 &?@M,u

!f@XDW&R

nVNs][