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infotek 2021-12-27 09:29

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究

任务/系统视图 *|ubH?71%Y  
AfFF u\  
lc#su$xR>  
{N/(lB8  
亮点 f*LDrAf9  
`A3"*,|z  
NKh"x&R  
Pr<.ld\  
 显微镜系统中光栅的全矢量分析 fPa FL}&  
 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 7_ZfV? .  
 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 Z^>{bW  
,o*x\jrGw  
说明:光源 WEOW6UV(  
DXsp 2  
b~WiE?  
UuzT*Y>  
[N'YFb3"O  
`o)rAD^e  
说明:透镜系统 '%l<33*  
DO8@/W( `  
ezgP\ct  
说明:样品结构 Mx4 <F "9  
+MvcW.W~  
>01&3-r  
Zu,rf9LMj  
说明:探测器 oGu-:X=`9  
Z9E[RD  
~K&ko8  
294 0M4  
3#!}W#xv  
|B./5 ,nSS  
结果:3D光线追迹 )!s f@F?  
,-rOfk\u  
4l<%Q2  
,Tvfn`;(  
x9hkE!{8  
LK-2e$1  
结果:光线追迹 ]p:s5Q  
9o@5:.b<j  
9nu!|reS  
"eA4JL\%)  
结果:光线追迹衍射级数 5 <X.1 T1  
*I:^g  
S8(Y+jgk;a  
S%uwQ!=O8  
结果:场追迹采样平面 h8iic  
*UJ.cQ}  
lyc ]E 9  
1MkQ$v7m  
结果:场追迹焦平面 outAZy=R;  
$@QF<?i~  
h mC. 5mY  
C@3a/<6m  
结果:减小光栅周期 (,*e\o  
Lq : !?)I  
随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 l|TiUjs  
8vpB(VxV+  
!6{; z/Hy  
U.g7'`Z<  
}#]2u| G  
2l^hnog|  
VbLwhA2W}F  
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