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2021-12-27 09:23 |
导出制造数据
任务说明 %]gTm7
=t N?Q+> 7cP@jj `:8J46or 灵活地导出制造数据: Yf,K#' h: - 平滑的界面 gN8hJG'0 - 量化界面 QfM zF - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 F_iXd/ 94uNI8 亮点 {R<Ea
@LV+ 导出各种表面形状的制造数据 ='ZRfb& 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 /n~\\9#3 xJ^>pg8
(/!r(#K0,' 一般界面的制造数据
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Amr[wx LZJA4?C
;__9TN 支持文件格式: w\54j)rb - 纯文本 6R-&-4 - ASCII码 F|Mi{5G% - 点云 3~,d+P - CAD格式(例如,STL,IGES) |b-9b& s+Fi @lg, STL导出平滑界面(例如Asphere) V@>r*7\F '1,,)U#6E 采样高度剖面的STL导出 \k;`}3uO Q9I
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b'VV'+| 量化界面的GDSII导出 F'g Vzf 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 mNmLyU=d 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 Fk(JSiU W_m"ySQs
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