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infotek 2021-12-27 09:23

导出制造数据

任务说明 9=%zdz2_S  
$ J`O-"M  
/\I6j;$z  
?Z7`TnG$uf  
灵活地导出制造数据： mL{P4a 1xf  
- 平滑的界面 3 !"N;Q"  
- 量化界面 m+kP"]v  
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Oj5UG*  
 g* q#VmE  
亮点 #j QauO  
 导出各种表面形状的制造数据 I0Pw~Jj{  
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 5p;AON  
     K,E/.Qe\C  
rs&]46i/p  
一般界面的制造数据 Z!1D4`w  
1 em,/> "  
Z/#_Swv  
iC gZ3M]  
支持文件格式： Z2% HQL2  
- 纯文本 Rh!UbEPjC  
- ASCII码 2ym(fk.6{  
- 点云 Jl Do_}  
- CAD格式（例如，STL，IGES） ?\}Gi(VVE  
 #~*v##^vFH  
STL导出平滑界面（例如Asphere） RgJ@J/p"  
[ GLH8R  
采样高度剖面的STL导出 kRp]2^}\s\  
aF{_"X2  
)dXa:h0RZ  
RZOK+!H:  
量化界面的GDSII导出 ]?eZDf~  
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 &`"DG$N(  
 这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 LW %AZkAx  
CVj^{||eF  
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