| infotek |
2021-12-27 09:23 |
导出制造数据
任务说明 ?""\ lk_s!<ni fW.GNX8 #9$V
08 灵活地导出制造数据: QB/7/PW{H\ - 平滑的界面 $N;"}Gz - 量化界面 V$dJmKg - 镜子/棱镜/光栅单元阵列
w%3Fg~Up S<eZ d./p6 亮点 @7@e`b? 导出各种表面形状的制造数据 'Aj(i/CM 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 -9OMn}w/* TBZ-17+
-`!_h[ 一般界面的制造数据 pbDw Lo] 1C_'H.q<= T-9k<,>? ;TL(w7vK 支持文件格式: ORowx,(hX - 纯文本 sDLS*467 - ASCII码 \|2tTvW,0 - 点云 ytjK++(T5 - CAD格式(例如,STL,IGES) v"u7~Dw#1 3 ppuQQ STL导出平滑界面(例如Asphere) 61/)l0<; ,IIZXl@ 采样高度剖面的STL导出 \!^i;1h0c3 #)GW}U]X f}[H
`OF
})@tA<+ 量化界面的GDSII导出 Z)mX,=p 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Gn]d;5P= 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 \ V6
I"ca+4]
|
|