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2021-12-27 09:23 |
导出制造数据
任务说明 bvR*sT#rg "WYcw\@U /ADxHw`k a^5`fA/L, 灵活地导出制造数据: z(orA} [ - 平滑的界面 l7J_s?!j - 量化界面 @4B2O"z` - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 +msHQk5#$m gkk <-j' 亮点 |H_)u 导出各种表面形状的制造数据 :g9z^ $g 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 83l)o$S q%:Jmi>
%#QFu/l 一般界面的制造数据 ZJ[ Uz_%W A# M RLHe;-*b]I F5<{-{Ky 支持文件格式: 4l`gAE$ - 纯文本 H@j ^, - ASCII码 2aje$w- - 点云 nG%j4r ; - CAD格式(例如,STL,IGES) -X}R(.}x wbS++cF< STL导出平滑界面(例如Asphere) YKc{P"'/| eu:_V+ 采样高度剖面的STL导出 0\~Zg >aWJ+ ? s ewU9*
d<3"$%C 量化界面的GDSII导出 \%Smp2K 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 5~"=Fm<uD 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 z0W+4meoH |B`tRq
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