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hxn123 2021-12-15 23:17

磁控溅射镀膜电子损伤

各位大佬，磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛，电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛？
ouyuu 2021-12-16 11:58
是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ #'poDX?  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 st- z>}  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， $Hw w  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 tcDWx:Q  
hxn123 2021-12-16 22:20
ouyuu:是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ `49: !M$i  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 1>c^-"#e^  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， c-`'`L^J  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 mNII-X G  
 (2021-12-16 11:58)  <<FBT`Y[  
Ub,5~I+`  
好滴，谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子，包括二次电子，应该不包括静电。
ouyuu 2021-12-24 11:13
这样……  JT,[;  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 #\zC|%2+z  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 }5Zmc6S{  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？
hxn123 2021-12-28 23:10
ouyuu:这样…… BhzcimC)  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 ~]Weyb[ N  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 " Ng%"Nz  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？ (2021-12-24 11:13)  4n0Iw  I  
v.6K;TY.  
好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射
ouyuu 2021-12-30 18:55
hxn123:好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10)  LO;6g~(1  
V X.9mt  
是的。
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