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hxn123	2021-12-15 23:17
磁控溅射镀膜电子损伤各位大佬，磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛，电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛？

ouyuu	2021-12-16 11:58
是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ *6_>/!ywI 有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 I L&PN`# 有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， 0 >(hiTy< 属于保密范畴，网上是问不到结果的。 QRdtr

hxn123

2021-12-16 22:20

ouyuu:是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ tg2+Z\0)4g
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 Lp{uA4:=K
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， .g_Kab3?L
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 >ISBK[=H
(2021-12-16 11:58) y&F&Z3t

好滴，谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子，包括二次电子，应该不包括静电。

ouyuu	2021-12-24 11:13
这样…… nG\| NRp 我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 E@@XWU21;N 氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 7x$VH5jie# 你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？

hxn123	2021-12-28 23:10
ouyuu:这样…… `mDCX 我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 hyC]{E 氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 9.l*#A^ 你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？ (2021-12-24 11:13) 1xb1?/n1# ;v%f + 好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射

ouyuu	2021-12-30 18:55
hxn123:好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10) %. W56 ?4YLt\|sn 是的。

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