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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 pr)K{~m]{<  
CHg]Ul  
6_Fpca3L  
!rz)bd3$  
亮点 RAdvIIQp:  
KKV)DExv?  
 I=K[SY,]9  
A mvw`u>  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） {QW-g  
 严格分析光栅衍射效率 Gk{W:866  
 考虑入射光的方向分布 ]|;7R^o3|  
>]^>gUmq  
说明：光源 OM1*Iy  
5UPPk$8 `  
tb:    
)< l\jfx e  
说明：光束分束器 ~DK F%}E  
/5jKX 5r  
:mzCeX8 *  
Ko]QCLL  
说明：检测透镜系统 9y;y7i{>?  
j,Pwket  
S]vW&r3`  
+tPx0>p;  
说明：微型晶片 |x*{fXdMhr  
{WIY8B'c  
$R8>u#K!  
C+T&O  
说明：检测物镜 (/('nY  
i1tVdbC]  
S!u6dz^[$X  
_w\Y{(k  
说明：探测器 "^Y6ctw  
=rtS#u Y  
QCVsVG!sN  
Lf[G>0t&n  
结果：3D光线追迹（只有0级） b{zAJ`|#[n  
4 0p3Rv  
};i&a%I|  
0S%tsXt+  
结果：3D光线追迹（所有级） sg+ZQDF{x  
j l}!T[5  
?e"Wu+q~L  
a|8| @,  
结果：光线追迹 #4Dn@Gqh.Y  
H&~5sEGa  
 U? {'n#n 5  
nXv 7OEpTx  
结果：场追迹 )3BR[*u*  
\8=e |a5`  
 c*Eok?O  
&G0l&8pa  
结果：线性偏振光的场追迹 vsu@PuqH  
tniPEmeS  
cxAViWsf  
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