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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 ,,lR\!>8  
)g KC}_h=  
 "+Sq}WR  
]kF1~kXBe  
亮点 @3bVjQ`4f  
$KlaZ>D h  
 iU(B#ohW"  
6Xbf3So  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） ,T;D33XV  
 严格分析光栅衍射效率 =r3g:j/>q  
 考虑入射光的方向分布 SIc~cZ!Yu  
,qNbo 11  
说明：光源 vJS}_j]_@  
\r [@A3O  
h.NCG96S  
0f_A"K  
说明：光束分束器 f>3)}9?xc}  
U} w@,6  
<`wOy [e  
.i^ @v<+  
说明：检测透镜系统 7zIfsb  
^66OzT8A  
X8A.ag0Uu  
O- LwX >  
说明：微型晶片 y,w_x,m  
$RUK<JN$6  
zS h9`F  
Gl[1K/,*  
说明：检测物镜 UT[{NltH  
[(&aVHUj  
2b-g`60<  
'yV*eG?^&  
说明：探测器 <FI*A+I4\  
(@;^uVJP  
R~fk/T?  
]Tg@wMgI  
结果：3D光线追迹（只有0级） emB<{kOkw  
GSd:Plc%  
1b2  
};<?W){!H  
结果：3D光线追迹（所有级） uh\Tf5  
5)5yH bS  
# z7yoP  
WWo"De@  
结果：光线追迹 0rm(i*Q  
5(E&jKn&  
 xEeHQ7J  
5HE5$S  
结果：场追迹 q8FpJ\  
rBy0hGx  
 ;%^{Zybh  
oN%zpz;OR  
结果：线性偏振光的场追迹 %r*,m3d  
DbX7?Jr  
EuImj#Zl  
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