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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 'pIrwA^6N  
;.sYE/ZVi  
ux1(>  
EIQ3vOq6  
亮点 |=YK2};  
T~/>U&k}J  
 ohKoX$|p~  
5?`4qSUz  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)）  hO$Gx*e$  
 严格分析光栅衍射效率 5|~g2Zz{;  
 考虑入射光的方向分布 "Tser*i )  
B7'#8heDh  
说明：光源 K% FK  
`B3-#!2X  
t adeG  
`K+%/|!  
说明：光束分束器 X:Wd%CHP  
r&a} U6k(y  
iy]L"7&Z2  
*Oy* \cX2[  
说明：检测透镜系统 ";7N$hWE  
:$K=LV#Iru  
+ho=0 >  
2c[HA  
说明：微型晶片 M| Gl&   
)cizd^{  
AYY(<b  
.^9khK J;  
说明：检测物镜 WcSvw  
KPz0;2}  
D6@ c|O{Q  
Ey: ?!  
说明：探测器 Q3hf =&$  
\jk* Nm8;  
$Q#n'#c  
Z+U -+eG  
结果：3D光线追迹（只有0级） D>{`I'  
0/ 33Z Oc  
w=_^n]`R  
n.9k5r@  
结果：3D光线追迹（所有级） >>J$`0kM*  
:F"IOPfU5[  
5SUO`4L  
08jk~$%  
结果：光线追迹 TC<Rg?&yb  
^g(qP tQ  
 Mn&_R{{=  
$t& o(]m  
结果：场追迹 fWA# n  
8%;Wyqdf]  
 }X8P5c!\  
U 5j4iz'  
结果：线性偏振光的场追迹 D`G;C  
\36 G``e  
y7h^_D+Ce  
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