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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2021-12-15 09:36
检查微型晶片的光学系统
任务/系统说明
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亮点
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在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
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严格分析光栅衍射效率
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考虑入射光的方向分布
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说明:光源
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