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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 Dt<MEpbur  
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Lc?"4  
qtdkK LT  
亮点 0ETT@/)]z  
gaQ E'qp>  
 qE3Ud:j  
.?rs5[th*  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） nBd]rak'  
 严格分析光栅衍射效率 x${C[gxq9F  
 考虑入射光的方向分布 sxA]o|  
y\j[\UZKO  
说明：光源 -~aG_Bp!($  
`q\F C[W  
kssRwe%>;  
FX9WX b4w  
说明：光束分束器 ~CHcbEWk)W  
m' S{P:TK  
5FuV=Yuc  
$[b}r#P  
说明：检测透镜系统 ;F*^c )  
,aD~7QX1:  
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@YRy)+  
说明：微型晶片 V1Ojr~iM  
%).I &)i  
X jxa 2D  
KztQT9kY  
说明：检测物镜 Vt \g9-[  
sr[[xzL  
B5+Q%)52  
7)1%Z{Dy  
说明：探测器 ~|, "w90  
OGLA1}k4  
oiR9NB&<  
=`>ei  
结果：3D光线追迹（只有0级） DF-PBVfpu  
/&G|.Cx  
js;YSg{m  
K$GQc"  
结果：3D光线追迹（所有级） !mWm@ }Ujg  
/*e<r6  
of7p~{3H  
B 5qy4MFWs  
结果：光线追迹 4Ozcs'}  
 u+z  
 ToKG;Ff4b  
Z  eY *5m  
结果：场追迹 .X(qs1  
ME!P{ _/  
 wxBZ+UP_  
bQ 0Ab"+D  
结果：线性偏振光的场追迹 UUbO\_&y  
/pU`-  
m~W[,7NE0&  
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