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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 U/}AiCdj@  
I|Vk.,  
%iHyt,0v2  
gvow\9{|C  
亮点 ,ivWVsN*]  
!~6'@UYo  
 ~ nLkn#Z  
s^{{@O.  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 8A`p  
 严格分析光栅衍射效率 : OS mr  
 考虑入射光的方向分布 }Bv30V2-(  
WM~J,`]J  
说明：光源 F] dmc,Q  
(ouRf;\6$8  
a!s.850@  
dVY(V&p  
说明：光束分束器 X3&SL~&>g  
f(w#LuW<  
TWl(\<&+)  
xCmI7$uQ#  
说明：检测透镜系统 #dxJ#  
.3S\Rrv  
s[vPH8qb  
LOyCx/n  
说明：微型晶片 YUP%K!k  
Ppi-skT  
V'f&JQ A  
.O@q5G  
说明：检测物镜 {GG~E54&B  
 YiY&; )w  
=+SVzK,+3  
O,V6hU/ *  
说明：探测器 1DI"LIL  
a V+o\fId  
/eU1(oo&`5  
D:RBq\8  
结果：3D光线追迹（只有0级） ,&zjOc_v  
' Z(MV&  
Tvksf!ba  
1b %T_a  
结果：3D光线追迹（所有级） &?5{z\;1"  
8-y: ==C  
+UpMMh q  
:<WQ;q  
结果：光线追迹 AD!<%h:  
>TY5ZRB  
 _L `N^I.  
#$vhC u<I  
结果：场追迹 %M0mwty]  
fEv<W  
 U_ ?elz\  
y}:)cA~o(y  
结果：线性偏振光的场追迹 ;([tf;  
>`rNT|rg  
gw&#X~em  
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