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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 d .[8c=$  
Mhm@R@  
@tF\p  
&U{#Kt5q  
亮点 , |0}<%  
DMs,y{v  
 Qu"8(Jk/  
0!D4pvlt  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 3_C|z,\:  
 严格分析光栅衍射效率 ]v?@g:i E  
 考虑入射光的方向分布 E}%B;"b/Tj  
x" 7H5<  
说明：光源 0}<|7?  
O8f?; ]  
.7O*pJ2(H  
+<'Ev~  
说明：光束分束器 <3L5"77G 6  
2"COP>  
"H2EL}3/]  
&`h{i K7  
说明：检测透镜系统 '"`IC\N^  
2Zm0qJ  
&g#@3e1>  
H!c@klD  
说明：微型晶片 0`Kj 25  
C=-=_>Q,L<  
bjyZk_\  
.28<tEf  
说明：检测物镜 ;:iY)}  
%]\kgRr  
~cWAl,(B<F  
>3ZFzh&OYQ  
说明：探测器 GeI-\F7b  
j 'FVz&  
.b_)%jd x  
MlcR"gl*  
结果：3D光线追迹（只有0级） .nTwPrG  
9X[kEl  
z Eq GD2"  
q~ tz? T_  
结果：3D光线追迹（所有级） 6e(Qwt  
AJt+p&I[J  
AW%50V  
Y$o< 6[7  
结果：光线追迹 ?yZ+D z\  
$': E\*ICb  
 IO wj>t  
'QJ:`)z  
结果：场追迹 UMv.{iEj  
16w|O |^<  
 ,aOl_o -&  
H-WJp<_  
结果：线性偏振光的场追迹 Mo y <@+  
?U%QG5/>  
@X%C>iYa9  
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