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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 ^w``(-[*  
c!wRq4  
~uZ9%UB_m  
~aQR_S  
亮点 t g-(e=S4P  
',WJ'g  
 Ank_;jo  
hrzxc4,W  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） q5EkAh<PD|  
 严格分析光栅衍射效率 }wv Rs5;o  
 考虑入射光的方向分布 Z`GEF|eh  
W=293mME  
说明：光源 iM:-750n/  
PHI c7*_  
R[v<mo[s  
mr G?5.7W  
说明：光束分束器 a`^$xOK,  
4 Sk@ v  
:R:@V#Y  
is^R8a  
说明：检测透镜系统 b`S9#`  
hslT49m>  
1(# H%  
pxedj  
说明：微型晶片 %P<fz1  
P(8 uL|^  
F^!O\8PFd  
Fec4#}|  
说明：检测物镜 <_eEpG}9  
0k?]~ f  
XfMUodV-OZ  
p= x &X~  
说明：探测器 o(l%k},a  
)y:))\>  
m3P7*S5NJ7  
4,X CbcC  
结果：3D光线追迹（只有0级） 1)ij*L8k  
gjnEN1T22  
|HY{Q1%  
w^nA/=;r  
结果：3D光线追迹（所有级）  oSy9Xw  
Q7v1xBM  
&X` lh P  
G}NqVbZ9]  
结果：光线追迹 Lp|n)29+du  
oVbs^sbRH  
 &1 yErGXC  
T7/DH  
结果：场追迹 B|9XqQ EI  
oPbziB8  
 7MJ\*+T|03  
AFYdBK]  
结果：线性偏振光的场追迹 \' A- Lp  
7AGUi+!ICl  
/.A"HGAk  
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