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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 z^o7&\:  
M%#F"^8v  
Kw =RqF  
" V4@nv  
亮点 ;3\'}2^|l  
+62}//_?  
 +,zV [\  
@;X#/dZe  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） Ww0dU_  
 严格分析光栅衍射效率 tI<6TE'!p#  
 考虑入射光的方向分布 4*9BAv  
zmhAeblA  
说明：光源 ;qs^+  
q\/xx`L  
k{ $,FQ4  
o0_H(j?  
说明：光束分束器 * >k6n5%  
o]B2^Yq;x  
}vd72P B  
7|k2~\@q  
说明：检测透镜系统 eB9F35[  
i(YR-vYK  
w>4( hGO  
fS3%  
说明：微型晶片 Xdh@ ^`  
n5Mhp:zc,  
n T7]PhJ  
NNBT.k3)  
说明：检测物镜 U45-R -  
k)zBw(wr  
`_x#`%!#2  
24*3m&fA*K  
说明：探测器 W~5gTiBZ]  
E(*S]Z[  
cR/e Zfl  
CdKs+x&tZ  
结果：3D光线追迹（只有0级） ~FVbL-2  
_ucixM#  
L i+|%a  
bYYjP.rcF  
结果：3D光线追迹（所有级） Jw^h<z/Ux  
?lm<)y?I7+  
MEOfVh  
*fSX3Dk  
结果：光线追迹 <bJ~Ol  
P0rdGf 5T  
 ppu<k N  
D >kkA|>  
结果：场追迹  nyZ?m  
z=4E#y `?U  
 ]j.!   
+A%zFF3  
结果：线性偏振光的场追迹 a?)g>e HN  
h1#l12k^'  
=nCV. Wf  
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