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2021-11-25 09:20 |
光栅结构中场分布的严格分析
该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 \"7U,y', @1vpkB~ w 1. 建模任务1:金属光栅 BMdcW
MYU\ W0+m A $Wn!vbL 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 u>\u}c 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 d_1uv_P k0bDEz.X 2. 建模任务2:介质光栅 "}Oj N\ 7`J= PG$A 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 DCP
B9:u 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 bQgtZHO Oil~QAd, 3. 建模任务 2cQG2N2* QTIC5cl, 5~FXy{ZIH VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 +.J/7gD 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 q[TGEgG 场分布计算能够检测结构内部的热点 d3;Sy`. ;q33t%j 4. TE和TM照明线性光栅 WRqpQEY $DeVXW 5. 铬狭缝的分析 {d '>J<Da Ake$M^Bz miUjpXt 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 duV\Kt/g^ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 |hD)=sCj 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 X:JU#sI 红线说明了结构的形状(手动添加) zP8rW5/ LI9
Uc\ 6. 三角光栅的分析 p~yGp]yJ9 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 %7A?gY81 ,5}")T["u "IJ 9vXI 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 )mu[ye"p 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 |.?$:D&6 红线说明了结构的形状(手动添加)。 Hto+spW 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 rqTsKrLe T4Io+b8$ 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 7v
V~O@JP (R]b'3,E$ 7. 总结 5ajd$t bScW<DZJ- VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 a8 .x=j< 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 b[^|.>b 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 LMaY}m> 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
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