| big左 |
2021-11-18 21:10 |
微型光谱仪优化Y光斑没有效果
最近,在尝试设计微型光谱仪,要求分辨率在2nm左右。在进行Y光斑优化的时候,效果不明显,甚至没有效果。恳求各位指点。谢谢。以下是镜头设置和约束条件设置以及点阵图。 0H V-e SwDUg}M~ [attachment=109668] u D.E>.B :EUV#5V. [attachment=109669] I)-u)P?2x ^z[-pTY [attachment=109670] UJ0Dy` f R.g'&_zx
J{Z-4y
|
|