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jorrnii 2007-03-12 23:25

请教大家一个光学镀膜的问题

本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 DI[  
vdd>\r)v  
在PMMA上镀CR3C2 zS '{F>w  
通的气体是AR,C2H2 rh T!8dTk  
分光:75%`T x\pygzQ/  
不导电\ c=<^pCa9t1  
黑色 !}q@O-}j  
机器:磁控溅射 j-v/;7s/B  
oI"gQFGu`u  
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 5")BCA  
但做出来不是黑色,而是黄棕色, 0yxwsBLy  
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? q#`;G,rs  
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? uFL!* #A  
eBqF@'DQ  
谢谢!!
wangxingyu 2007-05-16 19:14
  CR3C2请问
hucanxin 2007-05-25 05:30
加大C2H2的量怎么样
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