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jorrnii 2007-03-12 23:25

请教大家一个光学镀膜的问题

本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议  L$]Y$yv  
'Urx83  
在PMMA上镀CR3C2 t4zKI~cO  
通的气体是AR,C2H2 /p|L.&`U  
分光:75%`T UJ)( Sw  
不导电\ Z%{`j!!p  
黑色 ) Cm95,Y  
机器:磁控溅射 m7cG ]a~a  
7U)w\A;~  
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 9 KU3)%U  
但做出来不是黑色,而是黄棕色, SG)|4$"  
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? 5N#Sic M  
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? dY?>:ce  
7$kTeKiP  
谢谢!!
wangxingyu 2007-05-16 19:14
  CR3C2请问
hucanxin 2007-05-25 05:30
加大C2H2的量怎么样
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