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jorrnii 2007-03-12 23:25

请教大家一个光学镀膜的问题

本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 C% }FVO\c  
ztgSd8GGE  
在PMMA上镀CR3C2 i?qS8h{  
通的气体是AR,C2H2 3UslVj1u  
分光:75%`T u{ JAC!  
不导电\ ;8|uY%ab  
黑色 Z7K ;~*  
机器:磁控溅射 Ga.a"\F.V  
Ls5|4%+&  
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 4 FGcCE3  
但做出来不是黑色,而是黄棕色, 8g(%6 ET  
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? SD8Q_[rY  
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? 5z5#_*)O  
z1T.\mzfX  
谢谢!!
wangxingyu 2007-05-16 19:14
  CR3C2请问
hucanxin 2007-05-25 05:30
加大C2H2的量怎么样
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