利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 l2Py2ZI-b ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 st "@kHQ3 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 @]X!#&2> ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 TTj] _R{n n~`jUML2d 2. 系统 #Qz9{1\G K[noW
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd p +JOUW 3. 透镜系统组件编辑 N|>MqH,Bt mXJG &EA ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 jK6dI
7h ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 rS\mFt X ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 S?v;+3TG ■ 包括序列光学表面和光学介质。 QrmGrRH ~rOvVi&4 ^v;8 (eF 4. 光线追迹系统分析器-选项 :LX!T& [C
7X#| A;C4>U Y ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 p,8:(|( ■ 可以选择选取光线的方法: mrE>o! — 在x-y-网格 iN
u k5 — 六边形 L-|7
& — 自由选取 cru&nH*O^ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 PR7bu%Y*eD TffeCaBv 5. 系统的3维视图 Jn?ZJZ REJBm
Gqar5 6. 其他系统参数 kbz+6LcV ■ 系统由单色平面波照明 )buy2#8UW ■ 照明波长266.08nm )J\
JAUj ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: M _Lj5` — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 +Sv2'& B — 一个虚拟屏位于焦平面 QE;,mC> — 光束尺寸探测器置于焦平面 i}:^<jDv? ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 gavf$be
r`0oI66B/ [9CBTSr viS7+E|O zq^eL=%: 7. 光线追迹系统分析器的结果 Vc|QW ?y* yl
光线经过整个光学系统的三维视图 &eg@ZnPn
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) W6*5e{ Dm;aTe _32 o7}!x L{6Vi&I84[ bb`DyUy ^+
+N:M;uTS 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 UD]RWN
)Oj%3 l(tMo7iPa ■ VirtualLab可用于计算点列图。 W2,Uw1\:1 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 5m6I:s`pK ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ^MZ9Zu_ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 i'Q 4touy /(ArA=# 9. 焦平面上的结果 %Zu+=IZ hKK"D:?PRs 2I~a{:O ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4L6'4 t"s ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ]:]w+N%7 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm /{X2:g { ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 r?n3v[B ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 q&k?$rn !='&#@7u 10. 总结 N^tH&\G\m ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 V)r6bb{^ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 5./(n7d_ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ..ht)Gex ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 }&*,!ES*
|