利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 Im0 #_
\ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 DAHQ7#qfQC ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Ua](o H ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .V'=z| GJB=5nE 2. 系统 f6O5k8n
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文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd xZpGSlA 3. 透镜系统组件编辑 W%.ou\GN^t p#6V|5~8 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 MDqUl:] ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 [bIR$c[G ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 FaVeP%v ■ 包括序列光学表面和光学介质。 JAA{5@ST yccF#zU DTi\ 4&41 4. 光线追迹系统分析器-选项 m=.}}DcSs n>-"\cjV L^Q q[> ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 [Dou%\ ■ 可以选择选取光线的方法: mE+ — 在x-y-网格 ]Y%U5\$ — 六边形 qZ79IX'y — 自由选取 YLO/J2[' ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 leMcY6 D3i`ehh 5. 系统的3维视图 $GcVI;a ;s(uaC3
$k=5nJ 6. 其他系统参数 ctB(c`zcY ■ 系统由单色平面波照明 ~~D
=Z# ■ 照明波长266.08nm gJv;{;% ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: KE
k]<b= — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 h~zG*B5F — 一个虚拟屏位于焦平面 {95u^S= — 光束尺寸探测器置于焦平面 fL7u419= ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ?*ni5\y5o K0bh;I 7vf?#^RlV fvUD'sx =Lyo]8>,X 7. 光线追迹系统分析器的结果 Uq8=R)1<|d }[%d=NY
光线经过整个光学系统的三维视图 n$S`NNO{]
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) Bt\z0*t=s eJm7}\/6` XA%a7Xtni y?1<7>L5~ 5W29oz}-S aTx*6;-PH 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 on=I*?+R >.]'N:5 Q:#Kt@W ■ VirtualLab可用于计算点列图。 _P]!J~$5 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ]XAJ|[]sj* ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 $^1L|KgXp ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 DIU9Le nfV32D|3 9. 焦平面上的结果 d'yA"b] cIIt ;q[ =b* Is,R/ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 't5 I%F ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 U=G^wL ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm .PhH|jrCW^ ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Qf}^x9' ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 A,2dK}\> ^S'#)H-8C3 10. 总结 H%*<t} ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 {MaFv ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 j$K[QSn ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ?5oeyBA@ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 5"]t{-PD
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