利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 LP`CS849z2 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?~2Bi^W5 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 KAb(NZK ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 C}CKnkMMD kR6A3?[ 2. 系统 [!?wyv3 v$$]Gv(
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd MTmO>V&O 3. 透镜系统组件编辑 `mB.pz[ 3eg5oAZ)G8 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 e.X@] PQJQ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 <d@pmh ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 am:.NG+ ■ 包括序列光学表面和光学介质。 <TjBd1 ,$Tk$ ndOfbu;mf 4. 光线追迹系统分析器-选项 _bI+QC# (fXq<GXAn/ T"W9YpZ ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 dERc}oAh( ■ 可以选择选取光线的方法: $!`L"szqD* — 在x-y-网格 f9']
jJ+ — 六边形 `$-lL" — 自由选取 "T*I| ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 _pSIJ3O @}eNV~ROu 5. 系统的3维视图 G?[-cNdk ahp1!=Z-=
\GHOg.P 6. 其他系统参数 qeMv
Vf ■ 系统由单色平面波照明 cV]y=q6 ■ 照明波长266.08nm NW De-<fQ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: OROqT~6G — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 =>YvA>izE — 一个虚拟屏位于焦平面 #>q[oie1e — 光束尺寸探测器置于焦平面
^Fp=y,D ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Uh\]?G[G 9cOx@c+/ KW>VOW<. `Qq/F] !Mil?^ 7. 光线追迹系统分析器的结果 X2P``YFV{ qvTKfIl{
光线经过整个光学系统的三维视图 )l{A{f6O
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) qT0_L (j=DD6fC 08io<c,L L?.7\a@ fKYKW?g;)Z R.UumBM 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 eE,;K1 LJ
l1v u#VweXyU ■ VirtualLab可用于计算点列图。 5U;nhDmM ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 e/P4mc) ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 P#F_>GB ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 k -]xSKG CLktNR(45 9. 焦平面上的结果 {]@Qu" M kc|>Q7~{ r?afv.@L2 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 IrUi
Eq ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 R
^^1/% ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm [>wzl"cHW ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 4)E|&)-fu8 ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 cUNGo%Y 'XEK&Yi1 10. 总结 taixBNv ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Hz5;Ruw' ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Y8t
Nwh ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 4UazD_`' ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 gTuX *7w
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