利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 ""svDfy$ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 *;|`E( ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 $0^P0RAH ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 _73h<|0 A?Wk
wf 2. 系统 +u'I0>)S 1qi@uYDug
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd pG"5!42M! 3. 透镜系统组件编辑 vEQ<A<[Z 9%sM*[A ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 US{3pkr;I] ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 dd|W@Xp - ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 }`yiT<z ■ 包括序列光学表面和光学介质。 c<#<k}y k
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[Vf}NF 4. 光线追迹系统分析器-选项
_GqS&JHSf EC<b3 yg]2erR ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 s=Q(C[%I ■ 可以选择选取光线的方法: E2B>b[ — 在x-y-网格 @/%{15s. — 六边形 R.s|j= — 自由选取 5.tvB ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 HEA eo! l2hG$idC 5. 系统的3维视图 ;7Oi! BC +\# Fd
Lv1{k\aw 6. 其他系统参数 ,)~E>[=+ ■ 系统由单色平面波照明 7m5Co>NkuK ■ 照明波长266.08nm NN
0Q`r,8} ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: p$;I' — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 8Z85D — 一个虚拟屏位于焦平面 HI&kP+,y — 光束尺寸探测器置于焦平面 *@V*~^V"J[ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ZkB3[$4C=5 c#xP91.m Y|0ow_oH %IBL0NQT rn.\tDeA 7. 光线追迹系统分析器的结果 Y@ F }fhHXGK.
光线经过整个光学系统的三维视图 ]B9 ^3x[:
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) b4,jN~ci U=Bn>F}y\ 6ew "fCrH! &d`^E6# ;_<)JqUh EEf ]u7 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Tvf~P w 6!EYrX}rI[ N
b3$4(F ■ VirtualLab可用于计算点列图。 {,O`rW_eS ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ecH/Wz1 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 A~-#@Z ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 2Eh@e([PMs 4f1D*id*`# 9. 焦平面上的结果 m$y]Lf h5@j`{ YT2'!R
1 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 m[2'd ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 w! q& ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm \k&1*b?h ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 XKLF8~y8A ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 |LYKc.xo P0\eBS 10. 总结 RSWcaATZN ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 $T
dC/#7 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Q2~5" ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Ht=$] Px ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 'm1. X-$V
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