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2021-08-10 10:26 |
镀膜倾斜光栅
镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Hcq.Lq;2:
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关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 'y8{, R4C
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所需工具：Grating Toolbox Basic *z=_s D?1
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相关Tutorials：G.001; G.014 J 3K = z
建模任务 o`?rj!\
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理想平面波照射 xvr5$ x|h
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镀膜倾斜光栅 g g;r;3u
目标平面 R$awg S E
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周期：10um .1x04Np!
厚度：10um V|7Y Ra@
倾斜角度：20度 e%4?-{(
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光栅的参数 `+J Fvn!
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—倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 &K)8
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—填充因子 2—后面的介质 h `fVQN.3
—膜层厚度 3—膜层材料
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—光栅厚度 +8=$-E=
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设置层数和转折点 +>w]T\[1~
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 2 设置层数和转折点以确定膜层 `sxfj )s
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2 可以通过Structure Preview 按钮查看 LHAlXo;
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实现可编程光栅 FB=oGgwwq
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参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） `h}eP[jA
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参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） -H1=N
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参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） r^9l/H~ $
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2 双击Data Series Diagram w$gvgz
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采样结果 (su,= Z
 P{L=u74b{x
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Jx*cq;`Vee
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QQ：2987619807
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