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infotek 2021-08-10 10:23

衍射光学元件的产生及其结构数据的输出

本案例计算从传输中得到的衍射光学元件的高度分布和结构数据的产生 g-?@a  
关键词:衍射光学,衍射光学元件,结构数据,GDSIIASCII,位图 q#=HBSyM  
所需工具箱:Diffractive Optics Toolbox BasicTutorial在试用版本中不可用。联系LightTrans或者当地经销商可申请一段全版本的试用。 rny(8z%Ck-  
相关TutorialsDO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 R"W5R-  
"zj[v1K9-A  
建模任务 8wV`mdKN  
C cPOK2  
[4w*<({*  
$7" Y/9Y  
/g$G G9  
照射光束强度               衍射扩散器                                              产生的光图样强度 ox*1F+Xri  
dIW@L  
建模任务 9fm9xTL  
1_WP\@ O  
Qo32oT[DM  
2       扩散器参数: 'Fy"|M;2  
—相位层:4 S4\a"WYg  
—像素尺寸:830*830nm I3HO><o f  
,?P<=M  
—口径:1*1mm {7jl) x3l  
—周期:664,83*664,83um x$;RfK2&p  
2       结构数据输出为二进制格式 By waD?  
2       需要的高度分布计算 |sdG<+  
2       蚀刻掩模分解 .' }jd#  
2       蚀刻掩模输出为位图和GDSII文件 auga`*  
(n`] sbx  
DkX^b:D*f  
打开光学扩散器系统 k@ <dru  
P -NR]f  
3Q'vVNFh<  
l`.z^+!8@  
2       DO.008_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_01.lpd. 3~{I/ft  
}4N'as/ZO  
![;={d0  
2       文件在VL_Samples文件夹中 !KMl'kswe:  
((C|&$@M  
光学扩散器系统 d(|q&b:  
E*O($tS  
eZEk$W%  
,`JYFh M  
b"uO BB  
2       点击Go!按钮开始模拟扩散器系统. cI P.5)Ca  
模拟结果 D'<L6w`  
<3!Al,!ej@  
[I=|"Ic~  
G<M0KU (  
2       扩散器系统产生的光图样强度分布 m^!:n$  
gUNhN1=  
传输器提取 / cb`%"Z  
tPl 4'tW_  
2       双击光路径图中的Stored Transmission打开编辑对话框 vo f8bQ{&  
传输器(transmission)提取 U|]cB  
KF zI27r  
ele@xl  
K(i}?9WD  
2       点击Show按钮显示光路中的transmission. uLafO=Q  
KJRAW]?{  
扩散器传输 ;+<IWDo  
OL>)SJj5  
"Yh;3tI4*  
\?; `_E`j  
2       点击Cancel按钮 O`c+y  
 ][wb4$2  
Ux7LN @4og  
结构数据的产生 nm@ h5ON_  
gYhY1Mym  
BbI%tmA7  
<a]i"s  
tsAV46S  
U3X5tED  
2      点击窗口上部以激活窗口 T[Zs{S  
=}0Uw4ub(u  
2       点击设计菜单中Structure Design iqvLu{  
d #1Y^3n  
结构数据的产生 Q]YB.n3   
r|EN5  
qtExd~E  
2     该结构设计对话框计算采用薄元件近似的传输相位得到的高度分布 y6nP=g|')>  
<%m YsaM  
2     近似对于大于5个波长的有效。对于越小的越不精确。 Ea&|kO|  
2     选择Target File Export以产生结构数据 HEBeJ2w  
N[p o)}hp  
结构数据的产生 G IN|cv=  
w}gmVJ#p  
<Z]#vr q  
^O18\a  
对话框可以计算微小结构透明板和镜面. iM@$uD$_Q2  
2   选择Height Profile of Transparent Plate. 9B!Sv/)y!r  
结构数据的产生 _ocCt XI9  
YIg(^>sq  
2 设置正确的衬底和覆盖材料 ;=y"Z^  
2 点击 S MWXP  
Set按钮 @|\9<S  
结构数据的产生 j6GIB_  
c_3B:F7  
2aj1IBnz6/  
2         对话框显示所有打开的材料文件的菜单 2         如果没有想要的材料文件打开,点击 ,AP0*Ln  
Co1d44Q  
Load from Catalog 按钮从catalog中得到材料. w}ji]V}  
|-Uh3WUE6  
CRK%^3g  
结构数据的产生 1Cw]~jh  
e$Ksn_wEq  
P.y +jyu  
2       选择材料目录Miscellaneous ,U~A=bsa  
n93q8U6m/U  
2       选择材料PMMA 4!IuTPmr  
)2&3D"V  
V4[-:k  
dHy9 wU  
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