光学薄膜分析与设计软件Essential Macleod
Essential Macleod是一套完整的光学薄膜分析与设计的软件包,它能在任一32位、64位微软窗口环境操作系统下运行(除了Windows RT), 并且具有真正的多文档操作界面;它能满足光学镀膜设计中的各种要求;既可以从头开始设计,也可以优化已有的设计;可以模拟设计生产中的误差,也可以导出薄膜的光学常数,是当今市场上最完善的薄膜设计及分析软件。 &'T7 ~M: BU]9eF!>h 模块:Core模块+5个附加模块 'Kp|\Tr ~A>3k2N/e Core模块 ~cU,3g |Z#)1K Macleod核心模块是软件的最低配置,包含设计编辑器,数据、目标编辑器,输入/输出,材料管理,性能计算,优化和综合,和其它软件或硬件的数据交换,导纳轨迹,电场,辅助设计等,是整个软件包的基本构架。 0y2iS't
[attachment=122519] 2$\Du9+ Core模块功能 vJmE} <bIAq8 效能计算 X
B65,l EC?!%iO` Essential Macleod 提供了整组完整的效能计算。除了一般反射和透射计算外,也包括沉积密度、吸收,椭圆参数,超快参数 (群组延迟、群组延迟色散、三阶色散)和多光色散,也可以进行色彩计算。公差的计算是分辨设计对微小厚度变化的灵敏度。
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Sc3vG 颜色计算 ;t[<! 7&|fD{:4U 颜色计算包括色度坐标、显色指数、色纯度、主导波长、相对色温。图形包括色度坐标图、色调、用户自定义图。包括CIE 1931 和 1964 配色函数在内的许多标准光源选择是预先定义好的,而用户可以定制你所需要的参数的其它参数。可以根据导入的透射及反射数据计算作为波长函数的颜色参数,也可以作为目标进行优化。 @qg=lt|(F &[23DrI8 设计和分析工具 .CwMxuW VGq2ITg9eE 包括导纳图,电场分布,等效折射率,吸收分布,应力,光的散射、特性包络、消偏振边带滤波器设计和诱导透过率。 !{r Gt`y vseuk@> 提取工具 A%%WPBk{O {.Nt#l n & k 提取工具提供了由量测测试薄膜的反射、透射频谱数据以决定薄膜或基底n 与k 的方法。 }g>&l.2X SijCE~P 反演工程 7NoB 4`!(M]u= 主要采用Simplex 局部优化方法,根据已镀膜的设计结构和光谱测试数据(至少一种),来确定其真实膜系结构及其与设计的差别。 1mf|:2, 0m51nw~B 公差 YI&^j2 )jCAfdnCs Essential Macleod 的公差能力允许你探查设计相对于制造误差的灵敏度,可以比较不同的设计以挑选出最优者。 YX@[z
5* >E[cl\5$E 细化与合成 =(.HO:# g%[lUxL Essential Macleod提供了6个优化和2个合成工具,膜层可以锁定或关联(膜层关联是更先进的分组形式可以把不连续的膜层关联在一起优化),堆积密度包含在细化工具下的简单下降法里面(可对折射率优化)。优化过程可以加入如选择的膜层的总厚度等不同的限制条件。Optimac和needle Synthesis方法可以优化多层膜,可加入多种材料合成优化。Context允许使用替代材料优化。 eUx|_*` d}ue/hdw 图表 m|=/|Hm ]7c715@ Essential Macleod包括标准图片、动态图(参数的变化效应可立即看到)、三维图。 ECU:3KH>MF 70*Y4'u}A 导入与导出 /d8PDc " A5Y z| 剪贴板支持与其它应用程序的导入与导出数据,还可以导出数据到光学系统软件中如FRED、VirtualLab、Zemax、Code V。 b[$l{RQ[? q31swP Runsheet模块 LI"ghz=F cKF 8( 这个工具可设计镀膜制程,包含机器配置编辑器以及跑单生成器。 sq&$
[attachment=122520] ix*n<lCoC 机器配置编辑器 3 LoB-4u? p>65(&N, 机器配置中贮存了特定镀膜机的详细设置,监控系统,入射角,材料,监控芯片,加工因子(包含随光源损耗变化的动态加工因子)。 z9'ME
[attachment=122521] ~qco -b Runsheet <_ddGg~ u=
!?<Q 使用者可使用跑单生成器对既定的机器配置,进行镀膜设计的监控规划。该工具除了可同时具备光学与晶体监控功能外,还具备诸如动态加工因子和系统带宽等高级特性。 vezX/x D?
[attachment=122522] F|%[s|s •对反射、背向反射和透射监控计算光学信号 oT%~)g •当膜层沉积时,动态加工因子(Dynamic Tooling Factors)可以不同 NR^z!+oSR •使用偏移和放大控制可以使信号数据缩小或放大到用户自定义范围 nOp\43no •对每一膜层,监控波长、带宽、监控光谱、晶控或光控都可以用户自定义 4CfPa6_ •在镀膜的任何阶段,监控芯片可以更换 V= !!;KR0 •多种配套的格式输出 |HhUU1! •提供图片和表格的监测数据可以输出到用户自定义报告格式 ZU7,=B= JEs?Rm1^. Simulator模块 NFU 5+X-c 5Y_)%u
对于公差问题, Simulator 通过蒙特卡罗(Monte Carlo)法在实际模型控制过程的扩展来进行解决。通过一个由 Runsheet 创建的控制计划, Simulator 可模拟薄膜淀积控制,引入随机和系统效应,例如信号噪声,加工因子的变动,封装密度误差等等,以及显示这些参数对于镀膜制程的最终模拟结果的效应。 :hCp@{
[attachment=122523] cZ%weQa#N) Monitorlink模块 W@JmG`Sy W32bBzhL Monitorlink提供将Runsheet连结到一个淀积控制器的额外软件。一个独立的程序与控制器直接连接,而且一个 Runsheet 的扩展也赋予其产出和编辑淀积程序的功能。 GC~Tf rf=r VStack 模块 -HS(<V=a?k yG2j!D VStack 是一种计算与优化的工具﹐它也能计算这些系统中斜射光的效应。当光束斜入射时,初始为p- 偏振态的光线最终会以p - 偏振态从系统出射。同理,原本是s - 偏振态光也会以p - 偏振态出射,我们称此为偏振泄漏 (polarization leakage) 现象。VStack 能计算泄漏的大小而且提供泄漏元件的 Delta 值。 P*)}ENY
[attachment=122524] )TBBYCL3 Function模块 \ C~Y NuLQkf) 函数扩展功能无macleod计算中的限制,Function有两个主要工具:第一是简单的宏语言可在软件表格中运行,另一个是强大的Basic脚本语言。 7b \Hbg Z j#Bea , 宏语言可以保存和调用。Operation可以使阵列数据作为变量并可进行所有必要的插值。Operations可以创建黑体辐射光源,对于柯西材料模型可提取n和K数据,很容易的计算如平均或峰值特性等庞大计算量。其简单宏指令中的操作 ( 具有内建的编辑器和语法检查器 ) 能允许一再重复相同的计算。 &v'e;W mJ)o-BV q.g<g u]
[attachment=122525] [8(e`6xePb 脚本是比Operations功能强大但更复杂的的脚本编辑。脚本可以调用Macleod作为物的实体,并运行它的命令可以插入到工具栏中,存在两个强大的编辑器,一个是可以使用BASIC脚本编辑器,另一个允许是允许用户与程序包内置的对话框交互的脚本编辑器。 `N]!-=o <Gr{h>b
[attachment=122526] K
p~x 脚本也兼容OLE 的外部程序如Microsoft Word软件。软件提供了许多预先编辑好的脚本,如创建新的光源,如对不同的模型创建纳米复合材料,如OLED特性计算,膜层表面3维数据收集,非均匀表面效应的计算。 ~OAS T }{ J<Wzw
[attachment=122527] 0[ H'l",~ DWDM Assistant模块 BD\xUjd?)Q {^1D|y 在多腔滤波器设计中,特别是针对密集波分复用,用DWDM 助手可以避免单调的重复过程。DWDA Assistant 可自主设计一组多腔滤波片,以满足用户的不同规格,设计结果可以根据一些诸如总厚度、预计淀积时间、扰动特性等等规范排序。 "U4Sn'&h@ #Bj.#5
[attachment=122528] 0x4p!5 通过扰动优化算法,增加只是由1/4 波长厚度的膜层组成的结构,减少通带中的脉动,使DWDM助手中使用的对称周期技术功能增强。一般来说,对给定要求的滤波器,有许多的设计都满足要求,但DWDM 助手可以按评价标准对设计结果进行排列。 aP>%iRk'J! @M?;~M?B]J
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