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infotek 2021-07-13 09:57

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 }}Zwdpo  
M2kvj'WWq  
任务/系统说明 D%`O.2T Y|  
Gye84C2E=  
TdU'L:<4l  
]Cc3}+(s  
亮点 m&P B5s\=  
bmOK 8  
zAW+!C.  
JpRn)e'Z  
 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) @Ojbu@A  
 严格分析光栅衍射效率 {g C?kp  
 考虑入射光的方向分布 Aaw]=8 OI  
oW5Ov  
说明:光源 '^n,)oA/G  
uIy$| N  
!.G knDT  
dEhFuNO<2  
说明:光束分束器 _4f=\  
e**<et.  
/n2qW.qJ>  
&wX568o  
说明:检测透镜系统 aMJW__,  
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U!GfDt  
[;C|WTYSL  
说明:微型晶片 y$}o{VE{x  
aD&4C -,1  
!X5LgMw^;  
]@I>OcH  
说明:检测物镜 ,bxGd!&{Q  
j0b>n#e7  
z',f'3+  
XxYwBc'pc  
说明:探测器 zcy`8&{A<?  
]IclA6  
Rb_%vOM  
+gyGA/5:d$  
结果:3D光线追迹(只有0级) YfstE3BV  
]Pl Ly:(  
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b&*)C#7/T  
结果:3D光线追迹(所有级) 6zp]SPY  
"$nff=]  
m@y<wk(  
Lng@'Yr  
结果:光线追迹 V/+D]  
 K,o&gY  
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sE])EwZ  
结果:场追迹 O'{g{  
T<%%f.x[s  
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结果:线性偏振光的场追迹 gle<{ `   
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文档和技术信息 F@b=S0}K  
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QQ:2987619807 d5"rCd[  
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