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infotek 2021-07-13 09:57

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 K;R!>p}t  
G1SOvdq  
任务/系统说明 ~qE:Nz0@  
P(p|NRD@1  
 ,}^FV~  
.sZ"|j9m  
亮点 1/=6s5vS}  
q^}iXE~  
cOdgBi  
9$ixjkIg  
 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) C jz(-018  
 严格分析光栅衍射效率 NC"X{$o2  
 考虑入射光的方向分布 7\i> >  
/9ZU_y4&3f  
说明:光源 gZL,xX  
5QG?*Z~?7  
b}ODc]3  
&3 x [0DV  
说明:光束分束器 L}t P_ *  
EuKkIr/(  
PSU}fo  
>%c>R'~h  
说明:检测透镜系统 lG`%4}1  
2GRv%:rZ  
5?>ES*  
nCLEAe$W\=  
说明:微型晶片 *$Z?Owl7  
&iaS3x  
&Y 2Dft_K  
{Ok]$0L  
说明:检测物镜 ? RI D4xu!  
9bUFxSH  
}k @S mO8  
Eo0/cln|  
说明:探测器 Wfsd$kN6{  
d*LW32B@  
rs0Wy  
OgCz[QXr_  
结果:3D光线追迹(只有0级) (JT 273  
YLb$/6gj6  
5wC,:c[H7  
kK.[v'[>&  
结果:3D光线追迹(所有级) Fzy5k?R  
%0%Tp  
{vp*m :K  
rw[Ioyr-  
结果:光线追迹 *_K*GCy  
pL ,l  
sY&Z/Y  
KESM5p"f  
结果:场追迹 Yb%#\.M/y  
~P'i /*:  
f%rZ2h)  
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结果:线性偏振光的场追迹 (P-$tHt  
6K^O.VoV^J  
/z: mi  
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文档和技术信息 (btm g<WT"  
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QQ:2987619807 dd *p_4;  
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