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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2021-07-13 09:57
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
K;R!>p}t
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任务/系统说明
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P(p|NRD@1
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亮点
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cOdgBi
9$ixjkIg
在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
C jz(-018
严格分析光栅衍射效率
NC"X{$o2
考虑入射光的方向分布
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/9ZU_y4&3f
说明:光源
gZL,xX
5QG?*Z~?7
b}ODc]3
&3 x [0DV
说明:光束分束器
L}tP_ *
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PSU}fo
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说明:检测透镜系统
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说明:微型晶片
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&iaS3x
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说明:检测物镜
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说明:探测器
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OgCz[QXr_
结果:3D光线追迹(只有0级)
(JT 273
YLb$/6gj6
5wC,:c[H7
kK.[v'[>&
结果:3D光线追迹(所有级)
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结果:光线追迹
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KESM5p"f
结果:场追迹
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结果:线性偏振光的场追迹
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文档和技术信息
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QQ:2987619807
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