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infotek 2021-07-13 09:57

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 qj *IKS  
k[lYd k  
任务/系统说明 W:D'k^u  
0"q_c-_Bg  
62lG,y_L  
N2:};a[ui5  
亮点 fFP>$  
YT7,=k_  
 Sh'>5z2  
Ei!t#'*D<  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） BG:l Zj'I  
 严格分析光栅衍射效率 )6mx\t  
 考虑入射光的方向分布 '5xf?0@s.  
lF-;h{   
说明：光源 !z@QoD  
_22;hnG<iy  
ga0>J_  
{Ic~}>w  
说明：光束分束器 ]~S,K}T  
#N%ATV  
]jo^P5\h>  
\2cbZQx  
说明：检测透镜系统 !wH7;tU  
2 mM0\ja  
Cb}hE ro  
g7*cwu  
说明：微型晶片 &t)dE7u5  
tln*Baq  
.5=Qf vi*  
c%1 <O!c  
说明：检测物镜 Q*wub9  
GE4d=;5  
zA+&V7bvy  
oXw}K((|  
说明：探测器 {l&6= z  
<3\t J  
pT Yq#9  
#6g-{OBv  
结果：3D光线追迹（只有0级） Jp)>Wd  
bA]/p%rZ8  
!>XG$-$`Z  
d;(&_;  
结果：3D光线追迹（所有级） *O') {(  
', -4o-  
$Yfm>4  
|RT#ZMJek  
结果：光线追迹 'A91i  
arf`%9M  
 1g`$[wp|  
}>:v  
结果：场追迹 zo66=vE!  
+gb2>fei&  
 /|] %0B  
wc-H`S|@  
结果：线性偏振光的场追迹 S!gV\gEbDj  
75vd ]45as  
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文档和技术信息 rtcY(5Q  
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QQ：2987619807 BBw]>*  
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