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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2021-07-13 09:57
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
l, 1.6
JT 5+d ,
任务/系统说明
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+4Lj}8,
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亮点
+@K8:}lOW
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IN94[yW{1
& A @!g
在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
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严格分析光栅衍射效率
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考虑入射光的方向分布
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}@wXm
说明:光源
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lpeo^Y}N
%q,^A+=
.Dg'MMBM
说明:光束分束器
T 9?!.o
GE.@*W
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说明:检测透镜系统
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说明:微型晶片
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说明:检测物镜
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说明:探测器
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H=k*;'
结果:3D光线追迹(只有0级)
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结果:3D光线追迹(所有级)
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u +OfUBrf
结果:光线追迹
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I:aG(8Bi)H
结果:场追迹
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e?D,=A4mV"
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结果:线性偏振光的场追迹
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文档和技术信息
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QQ:2987619807
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