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infotek 2021-07-13 09:57

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 ScQ9p379  
}*!_M3O  
任务/系统说明 Z`Jt6QgW  
A+}O~,mxP8  
+i}uRO  
xa 967Ki9"  
亮点 vg1E@rH|}  
? :A%$T  
uLfk>&hc  
:H]MMe  
 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 7.+vp@+  
 严格分析光栅衍射效率 !Q}Bz*Y  
 考虑入射光的方向分布 iAeq%N1(0  
tVNFulcz$  
说明:光源 vrh2}biCR  
M+)ENv e  
.3SP# mI  
g6$\i m  
说明:光束分束器 ^rGuyW#  
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=tX"aCW~  
f1B t6|W%  
说明:检测透镜系统 tiR i_  
{@'#|]4y.  
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A6xN6{R!  
说明:微型晶片 .$+,Y4q~(  
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#U vWS  
说明:检测物镜 Y~I0\8s-  
j#l1KO^y  
c'Q.2^w^  
$dKo}  
说明:探测器 ^a|  
"b"|ay  
[t*-s1cq  
$_|jI ^  
结果:3D光线追迹(只有0级) ZfS"  
 Sg(\+j=  
=A_{U(>  
PpSQf14,  
结果:3D光线追迹(所有级) 3=0b  
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bE jQMlb  
(%fSJCBl[P  
结果:光线追迹 ^~3{n  
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结果:场追迹 Lp+?5DjLT  
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结果:线性偏振光的场追迹 o%h[o9i  
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文档和技术信息 ;v ~xL!uQ  
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QQ:2987619807 )r XUJ29.  
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