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2021-07-08 10:03 |
从真空镀膜原理、设计到工艺 11月5-7日 广州
时间地点: OCN@P+L3q 主办单位:广东省真空学会、讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:infotek) KkD&|&!Q7u 协办单位:常熟黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) 9a3mN(< 授课时间:2021年11月5日(周五)-7日(周日) AM 9:00-PM 16:00 oeIza<:=R 授课地点:广州(详细地址将于开课前2周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅) xJ|_R,>.H 课程费用:4500元(包含课程材料费、开票税金、午餐费用) vOi4$I~CJ 授课专家:讯技光电高级顾问&高级工程师 .Arcsg 课程简介: F<LRo}j"9Q 当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时,既可以着手选用所需的基板,镀膜材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手,例如高反射镜不管波宽大小,开始我们一定是以四分之一波膜堆为设计基础,倘若是截止滤光片,则应以对称膜堆为设计基础。当初始设计无法满足要求时,我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化,设计好之后,即刻进行制造成功率分析,亦看膜层厚度的误差值的容许度,若是镀膜机的精密度做不到,则要修改设计,重新分析直达合格为止。 K *xca(6 透明塑料基板质轻价廉,而且容易成型为非球面透镜,被广泛采用在光学系统中,如眼睛镜片、相机透镜、手机镜头、及显示器面板,如OLED,近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致使其具有吸水性,从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射,还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 B"=w9w] ]课程大纲: _0E KE 1. Essential Macleod软件介绍 4g^Xe- 1.1 介绍软件 u5E\wRn 1.2 运行程序 ]c~W$h+F 1.3 创建一个简单的设计 `T(T]^C98 1.4 绘图和制表来表示性能 (hFyp}jkk 1.5 3D绘图-用两个变量绘图表示性能 +X|^
~)tMJ 1.6 创建一个默认设计 l/g6Tv`w 1.7 文件位置 o%sx(g=q6 1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 Gx/kel[Y} 1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 lmpBf{~ S 1.10厚度(物理厚度,光学厚度[FWOT,QWOT],几何厚度) \:D"#s%x 1.11 单位定义 _fE$KaP 1.12 软件如何进行数据插值 LMTz/M 1.13 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) {?hpW+1,# 1.14 特定设计的公式技术 |cIv&\ x 1.15 交互式绘图 \_8.\o"@*# 2. 光学薄膜理论基础 c01i!XS 2.1 介质和波 y`8bx94jB 2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 > xie+ ^ 2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 b>x03% 2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 (,OF<<OH 2.5 光学薄膜设计理论 `Tk GI0q 3. 理论技术 AtYqD<hl: 3.1 参考波长与g <tT.m[q g 3.2 四分之一规则 U2vM|7]VP 3.3 导纳与导纳图 3:"w"0[K3 3.4 斜入射光学导纳 DuI>z?bS 3.5 对称周期 +Hkr\ 4. 光学薄膜设计 _(:<l
YaY 4.1 光学薄膜设计的进展 S?<hs,
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 pxb4x#CC 4.3 光学薄膜设计技巧 #$ooV1E 4.4 特殊光学薄膜的设计方法 KGJ *h 4.5 Macleod软件的设计与优化功能 "< })X.t 4.5.1 优化目标设置 kcG_ n 4.5.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化,差分演化法) o8h`9_ 4.5.3 膜层锁定和链接 OAo;vC:^ 5. 常规光学薄膜系统设计与分析 4=qZ Z>[t 5.1 减反射薄膜 K7c[bhi_w 5.2 分光膜 Jp"yb`w 5.3 高反射膜 XJe}^k 5.4 干涉截止滤光片 N~~
sM"n 5.5 窄带滤光片 X+kgx!u'y 5.6 负滤光片 dCpDA a3 5.7 非均匀膜与Rugate滤光片 5jAS1XG 5.8 Vstack薄膜设计示例 SW)jDy 5.9 Stack应用范例说明 i|[**P 6. VR、AR及HUD用光学薄膜 D`R~d;U~ 6.1 背景介绍 5
BLAa1 6.2 产品特性 C`qE ,2. 6.3 典型VR系统光学薄膜设计分析 E<sd\~~A: 6.4 典型AR系统光学薄膜设计分析 Zygu/M6 6.5 典型HUD系统光学薄膜设计分析 __Zex5Y#- 7. 防雾薄膜 o[)*Y`xq<w 7.1自清洁效应 4 (XV)QR 7.2 超亲水薄膜 PUmgcMt 7.3 超疏水薄膜 eY[kUMo 7.4 防雾薄膜的制备 "h-ZwL 7.5 防雾薄膜的性能测试 b3Qk;yz 8. 材料管理 H3LuRGe&2 8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 yw1-4*$c 8.2 金属与介质薄膜 eZ BC@y 8.3 材料模型 <$??Z;6 8.4 介质薄膜光学常数的提取 D)tL}X$ 8.5 金属薄膜光学常数的提取 J`[gE`d 8.6 基板光学常数的提取 M+*K-zt0 8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 -9Dr;2\ 9. 薄膜制备技术 "
v<O)1QT 9.1 常见薄膜制备技术 //'&a-%$^ 9.2 光学薄膜制备流程 +ZOKfX 9.3 淀积技术 2Z>8ROv^X 9.4 工艺因素 _L+j6N.h1 10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 0:`*xix 10.1 光学薄膜监控技术
z69u@ 10.2 误差分析与监控决策 /cT6X]o8 10.3 Runsheet 与 Simulator应用技巧 nyetK 10.4 膜系灵敏度分析 [*M': 10.5 膜系容差分析 d$"?8r4:K 10.6 误差分析工具 @C%6Wo4l3 11. 反演工程 UA|\D]xe 11.1 镀膜过程中两种主要的误差(系统误差和随机误差) n?;h-KKO: 11.2 使用反演工程来控制对设计的搜索 (D:-p:q. 12. 应力、张力、温度和均匀性工具 `hdN 6PgK 12.1 光学性质的热致偏移 EJ(36h 12.2 应力工具 _PcF/Gyk 12.3 均匀性误差(圆锥工具、波前问题) D5!#c-Y- 13. Function功能扩展 NcBz(" 13.1 如何在Function中编写操作数 W,"Re,`H 13.2 如何在Function中编写脚本 n
=WH=:& 14. 光学薄膜特性测量 \d*ts(/a* 14.1 薄膜光学常数的测量 4jSYR#Hqp` 14.2 薄膜堆积密度的测量 r.lHlHl 14.3 薄膜微观结构分析 A{e>7Z72 14.4 薄膜成分分析 !C h1q 14.5 薄膜硬度、附着性及耐摩擦性的测量 \B^NdG5Y 14.6 薄膜表面粗糙度的测量 C1+f\A|9FP 15. 项目管理与应用实例 +u&[ j/ 15.1 项目管理 uq;yR[w" 15.2 光学薄膜项目开发过程 KK6fRtKv>q 15.3 客户需求分析 9g\;L:' 15.4 文档管理与报表生成 $s4.Aj 15.5 【案例分析】Macleod 软件在太阳能薄膜中的应用 J?EDz, 15.6 【案例分析】Macleod 软件在激光薄膜设计分析中的应用 ANNVE}, 15.7 【案例分析】Macleod 软件在光电功能薄膜中的应用 I$MlIz$l v 15.8 仿生蛾眼结构在显示技术上的应用 8N+T=c 15.9 OLED薄膜及微腔效应 =H3tkMoi2 15.10 金属线栅偏振器 jijwHL 16. Q&A 0ckmHv XK\3"`kd QQ:2987619807
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