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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 @]?R2bI  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 UH20n{_:  
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建模任务 C +@ i  
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概述 ^'W%X  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 l%<c6;  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ";dU-\3M  
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61:9(*4~!F  
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光线追迹仿真 O<X )p`,`  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3;Hd2 ;G  
•单击go! (\& 62B1  
•获得了3D光线追迹结果。 $G3@< BIN  
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c&e0OV\m  
o#}mkE87  
光线追迹仿真 OX3Xy7  
? s4oDi|:  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1b[NgOXY=  
•单击go! ;)|nkI  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 8\_*1h40s  
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场追迹仿真 Q>%E`h  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #Fzb8Yo  
•单击go! 6[+j'pW?  
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场追迹仿真(相机探测器) 7@a\*|K6  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `^%@b SE(  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 k =|K|  
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场追迹仿真(电磁场探测器) 5Pqt_ZWy  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ' &N20w  
'M-)Os "  
c(&AnIlS  
SwJHgZ&  
场追迹仿真(电磁场探测器) 8<c' x]~  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2-7Z(7G{ F  
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文件信息 6VFirLd  
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QQ:2987619807 )r#,ML  
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