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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 6Qx#%,U^ J  
/6h(6 *JI  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 [&nh5 |f  
FxVZ[R  
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建模任务 =Q[b'*o7  
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概述 ^1L>l9F  
E5N{j4\F  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 V 2i@.@$j  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 7g(F#T?;'  
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FN%m0"/Z{t  
光线追迹仿真 e`v`XSA[p  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Hx\H $Y  
•单击go! |7}C QU  
•获得了3D光线追迹结果。 hDp6YV,q  
K%X^n>O7C  
cPU/t kc  
CBD6bl|A  
光线追迹仿真 S-'fS2  
y(=#WlK }  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 _dJ{j   
•单击go! nYa*b=[.  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 T7d9ChU\#.  
& _g TD  
j~e;DO  
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场追迹仿真 Iz{R}#8CZ  
(<Th=Fns?  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;XDz)`c  
•单击go! *mMEl]+  
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场追迹仿真(相机探测器) {M?vBg R\B  
a /:@"&Y  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~35U]s@v  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 V2<?ol  
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W{rt8^1  
场追迹仿真(电磁场探测器) F1Hh7 F  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Kmdlf,[3d  
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u]ZqOJXxu  
 =Mb1o[  
场追迹仿真(电磁场探测器) 0^8)jpL$<9  
4ON_$FUe  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 I6s3+x;O  
a!mf;m  
R3!@?mcr  
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文件信息 !2|=PB' M  
C(id=F  
wfP5@!I  
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QQ:2987619807 `W-&0|%Ta  
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