| infotek |
2021-06-23 11:22 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 FRsp?i
K) hG272s 2
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 D/wJF[_ 27}0
rkz84wDx hd`jf97* 建模任务 ~m[Gp;pL .Y^pDR12
;
FHnu| 概述 p ^9o*k`u Ny2bMj.o •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 3jHE,5m •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 7R,;/3wWjG ]&tcocq
CV2#G *
O,#,` 2Qc 光线追迹仿真 u~~ ~@p C 1)+^{7ef •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 I6,||!sZ •单击go! |\94a •获得了3D光线追迹结果。 QvJ29 ,V{Bpr
C
u1G8t- [&(~1C|C 光线追迹仿真 w}e_17A D$E#:[ •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 R83PHM •单击go! \ rKUPI\ •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 Vt:\llsin t. DnF[
OjrZ6 G2b"R{i/, 场追迹仿真 +-|}<mq sn]D7Ae •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 b~(S;1NS' •单击go! RLcC>Z ?yu@eo
U8@P/Z9 Bj\Us$cZ 场追迹仿真(相机探测器) qxYCT$1 TP)o0U •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }g:'K •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 9D;ono3 U/xzl4m6
RJ{J~-q{ wNUcL*n 场追迹仿真(电磁场探测器) 6X$nZM|g, •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 '{cFr _qh\
9fOE. L=P8; Gj) 场追迹仿真(电磁场探测器) nP|ah~
q !)05,6WQ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 C'jCIL J|HV8
w{]B)>! 1W l_,6<wWp 文件信息 f lt'~fe @gQ?cU 7
K1-RJj\L .k#O[^~] RN;#H_
q QQ:2987619807 _ozg=n2(
|
|