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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 )PU_'n=>  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。  /uyZ[=5  
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建模任务 <6djdr1:b  
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概述 Kb/w+J S  
L PDx3MS  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ISbhC!59  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 15 /lX  
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光线追迹仿真 E76#xsyhF  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ?_VoO  
•单击go! 9?IvSv}z  
•获得了3D光线追迹结果。 WqHsf1? N  
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dpTeF`N  
光线追迹仿真 p;Lp-9H\33  
i.(kX`~J1  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 vpoYb  
•单击go! )5O E~}>  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 CBVL/pxy  
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场追迹仿真 LO&/U4:  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 T|L_ +(M{  
•单击go! j$5S_]2  
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场追迹仿真(相机探测器) \D<w:\P  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 V?0Yzg$sy  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ?uBZ"^'  
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场追迹仿真(电磁场探测器) z5|m`$gy  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xeGl}q|  
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场追迹仿真(电磁场探测器) dh~ cj5  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yt@;yd:OEk  
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文件信息 :1 Y*&s  
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QQ:2987619807 ~*-%tFSv  
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