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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 <]!IC]+  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 GdP9Uj)n-  
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建模任务 > voUh;L  
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概述 o1g[(zky  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 [ z&y]~  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ahf$#UQLb  
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光线追迹仿真 P$oa6`%l  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^wHO!$  
•单击go! :@3d  
•获得了3D光线追迹结果。 Wx-{F  
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zzx4;C",u  
@Ab<I  
光线追迹仿真 dGfWRqS]  
JBg>E3*N  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 $i2gOz  
•单击go! .9E`x>C  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 Vw#07P#A  
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场追迹仿真 F 4h EfO3  
!6}Cs3.  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4 IHl'*D[#  
•单击go! ^:q(ksssY  
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场追迹仿真(相机探测器) XR&*g1  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ruW6cvsvet  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 :G`_IB\  
B\mdOTLQ  
&]M<G)9  
K0v,d~+]  
场追迹仿真(电磁场探测器) %DN& K  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r*$"]{m}  
Vz#cb5:g  
W)"q9(T?%  
=1,g#HS  
场追迹仿真(电磁场探测器) ~9n@MPS^!  
|p+VitM7  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #A/jGv^  
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文件信息 PFc02 w  
Fivv#4YO  
m&x0,8  
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QQ:2987619807 UO&S6M]v7  
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