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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 X_XeI!,b  
7>`QX%  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 +^hFs7je)  
X"<t3l(+  
a?%X9 +1A  
H"f%\'  
建模任务 rJK3;d?E  
%^}3:0G  
dL5u-<y&  
概述 (</cu$w>H)  
Kxb_9y0`r  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 j E_a ++  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 b 8v?@s~  
4;8 Z?.  
wYZFW'5p  
:~BY[")  
光线追迹仿真 D 4^2F(YRX  
gTZ1LJ  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3=V79&  
•单击go! y)?Sn  
•获得了3D光线追迹结果。 lCg'K(|"  
j.X3SQb4G  
75}BI&t3k  
O7bTu<h=  
光线追迹仿真 O#fGHI<43[  
WP7*Q:5  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ^'r/;(ZF*/  
•单击go! GQO}E@W6C  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 PO5/j  
1I^[_ /_\y  
[5^"U+`{x  
^0ZabR'  
场追迹仿真 h\afO  
TG'_1m*$  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 g|8G!7O  
•单击go! hrPm$`  
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9/TF #  
场追迹仿真(相机探测器) PX}YDC zP$  
Jj}+tQ f  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Z?Y14L~%  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 C]K|;VQ  
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F ?xbVN  
fEF1&&8^  
场追迹仿真(电磁场探测器) s,O:l0  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^2}0lP|  
]Ec\!,54u  
6VpT*,2d~  
0q(}nv  
场追迹仿真(电磁场探测器) +gh6eY8  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 deO/`  
~]P_Yd-|  
IY2ca Xu  
-R@mnG 5  
文件信息 `Et)@{iP  
Kf#9-.}?  
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QQ:2987619807 u*0Ck*pZ  
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