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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 FRsp?i K)  
hG272s2  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 D/wJF[_  
27}0  
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hd`jf97*  
建模任务 ~m[Gp;pL  
.Y^pDR12  
; FHnu|  
概述 p ^9o*k`u  
Ny2bMj.o  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 3jHE,5m  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 7R,;/3wWjG  
]&tcocq  
CV2#G*  
O,#,`2Qc  
光线追迹仿真 u~~ ~@p  
C 1)+^{7ef  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 I6,||!sZ  
•单击go! |\94a  
•获得了3D光线追迹结果。 QvJ29  
,V{Bpr  
C u1G8t-  
[&(~1C|C  
光线追迹仿真 w}e_ 17A  
D$E#:[  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 R 83PHM  
•单击go! \ rKUPI\  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 Vt:\llsin  
t. DnF[  
OjrZ6  
G2b"R{i/,  
场追迹仿真 +-|}<mq  
sn]D7Ae  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 b~(S;1NS'  
•单击go! RLcC>Z  
?yu@eo  
U8@P/Z9  
Bj\Us$cZ  
场追迹仿真(相机探测器) qxYCT$1  
TP)o0U  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }g:'K  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 9D;ono3  
U /xzl4m6  
RJ{J~-q{  
wNUcL*n  
场追迹仿真(电磁场探测器) 6X$nZM|g,  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。  '{cFr  
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9fO E .  
L=P8;Gj)  
场追迹仿真(电磁场探测器) nP|ah~ q  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 C'jCIL  
J|HV8  
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文件信息 f lt'~fe  
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K1-RJj\L  
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QQ:2987619807 _ozg=n2(  
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