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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 iel@"E 4  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ~O!E&~  
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建模任务 {*r!oD!'  
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概述 A:(qF.Tm  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 R6:m@  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 lz1cLl m  
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光线追迹仿真 +"JWsD(C(  
Z!jJ93A"  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 'z)cieFKP  
•单击go! ~"4Cz27  
•获得了3D光线追迹结果。 +Jn\`4/J:  
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.|TF /b]  
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光线追迹仿真 vq-;wdq?2  
qK~]au:C  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 -%K}~4J  
•单击go! "{3|(Qs  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 HCe/!2Y/%  
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场追迹仿真 P3Ah1X7W"C  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 r(_Fr#Qn  
•单击go! /^I!)|At  
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场追迹仿真(相机探测器) 9}42s+  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 dldS7Q  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 :O?3lj)  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ^EW6}oj[  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :b_hF  
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Zw%:mZN  
i~M-V=Zg  
场追迹仿真(电磁场探测器) %zDi|WZ  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 qw)Ou]L=  
)|5mW  
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文件信息 M-F{I%Vx  
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QQ:2987619807 3RcnoXX_  
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