首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2021-06-23 11:22
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要
X_XeI!,b
7>`QX%
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
+^hFs7je)
X"<t3l(+
a?%X9 +1A
H"f%\'
建模任务
rJK3;d? E
%^}3:0G
dL5u-<y&
概述
(</cu$w>H)
Kxb_9y0`r
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
jE_a++
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
b8v?@s~
4;8 Z?.
wYZFW'5p
:~BY[")
光线追迹仿真
D 4^2F(YRX
gTZ1LJ
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
3=V79&
•单击go!
y)?Sn
•获得了3D光线追迹结果。
lCg'K(|"
j.X3SQb4G
75}BI&t3k
O7b Tu<h=
光线追迹仿真
O#fGHI<43[
WP7*Q:5
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
^'r/;(ZF*/
•单击go!
GQO}E@W6C
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。
PO5/j
1I^[_ /_\y
[5^"U+`{x
^0ZabR'
场追迹仿真
h\afO
TG'_1m*$
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
g|8G!7O
•单击go!
hrPm$`
Jw?J(ig^
}7E2,A9_"
9/TF#
场追迹仿真(相机探测器)
PX}YDC zP$
Jj}+tQf
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
Z?Y14L~%
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
C]K|;VQ
<[Ae0UK
F?xbVN
fEF1&&8^
场追迹仿真(电磁场探测器)
s,O:l0
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
^2}0lP|
]Ec\!,54u
6VpT*,2d~
0q(}n v
场追迹仿真(电磁场探测器)
+gh6eY8
-Zd0[& ']
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
deO/`
~]P_Yd-|
IY2caXu
-R@mnG 5
文件信息
`Et)@{iP
Kf#9-.}?
fF37P8Ir
Svj%O(
jh\L)a*
QQ:2987619807
u*0Ck*pZ
查看本帖完整版本: [--
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计