首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 SM2QF  
h|tdK;)  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 "|yuP1;L  
N|OI~boV%  
z  %Ty;  
9gFema{U  
建模任务 }j^asuf~c  
pPSmSWD?  
A~_*vcz  
概述 f D<9k  
?8AchbK; N  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]Z?y\L*M-  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 cRm+?/  
88]V6Rm9[*  
,iKL 68  
,Q8[Ur? G  
光线追迹仿真 u]K&H&AxT  
U_t[J|  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 x{ _:B DY  
•单击go! kcg{z8cd'r  
•获得了3D光线追迹结果。  uIOnP  
v803@9@  
ZS*PY,  
cI~uI '  
光线追迹仿真 s9R#rwIc  
z ;>xI~  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {O ]^8#v^  
•单击go! 'aYUF&GG  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 OPVF)@"ptM  
(gY3?&Ok*  
{z~n`ow  
N~rA/B]T  
场追迹仿真 cR'l\iv+  
i2]7Bf)oV  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 LhN?j5XqM  
•单击go! (_h=|VjK(I  
q~esxp  
|\/`YRg>  
:w|ef;  
场追迹仿真(相机探测器) Zq tL4M~9  
)ry7a .39b  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 aQjs5RbP~  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ?A4zIJ\  
S T#9auw  
[{iPosQWj  
-|K^!G  
场追迹仿真(电磁场探测器) bTBV:]w  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %.k~L  
t zn1|  
%r E:5)  
_C`&(?}  
场追迹仿真(电磁场探测器) >A5*=@7bY?  
 cs+;ijp  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 JWZG)I]r  
B*0TM+  
0d>|2QV   
#)}K,FDd  
文件信息 N>pTl$\4  
v2w|?26Lf  
@:,B /B;  
Dq07Z^#'  
qQ&=Z` p!  
QQ:2987619807 `$PdI4~J  
查看本帖完整版本: [-- 分析高数值孔径物镜的聚焦特性 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计