| huang8215 |
2007-03-07 21:39 |
ZZSX-800 真空镀膜机使用方法
一、电控柜的操作 ~q4DePVE
n
'P:
1. 开水泵、气源 `Jm{K*&8Q
0qG[h xt%
2. 开总电源 Xuh_bW&zF
AU87cqq
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 ?aOR ^ K
_9!Ru!u~
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 R#Bt !RNZ
:&?# ~NFH
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 3C_g)5
_:
|i|YlWQS
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 "MoV*U2s,
pxI*vgfN7
1. 总电源 (
fdDFb#1
DOhXb
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 YLSG
5vF+
>x2T '
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， s3J T1TX
2i,Jnv= sR
灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 aj(M{gFq~
WCR+ZXI?1
三、关机顺序 *k+QX
X@~s IUXx9
1. 关高真空表头、关分子泵。 ni~45WX3
cLR8U1k'
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 f 1=8I_>=
#:s'&. 6
3. 到50以下时，再关维持泵。 ,ypxy/
F6%rH$aS
' O{hr0q}
n8:2Z>
ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 >$R-:>~zN
P92:}" )*>
镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm "H G:b y
da I-*
极限压力：5×10-4 Pa H o \+xX
=WO{h48]
抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min
|
|