| huang8215 |
2007-03-07 21:39 |
ZZSX-800 真空镀膜机使用方法
一、电控柜的操作 {Hl[C]25X
[*)Z!)
1. 开水泵、气源 SVagT'BB
k@V#HC{t
2. 开总电源 Bd@'e7 {
Y>B P?l
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 JWROYED
?vgH"W~3>
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 @wp4 |G
\?D R
s
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 YD\]{,F|
. w H*sb
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 |E TiLR=&
mf' ]O,
1. 总电源 ,LZX@'5
XX6 T$pA6
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 QK; T~
_k
iEIg:
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， Sw8kIC
Ri#H.T<'
灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 1f#mHt:(
auHFir 8f
三、关机顺序 Ue*C>F
|Ps% M|8~
1. 关高真空表头、关分子泵。 K=?VDN
ar.AL'
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 ]3B %8
Vw# {C>
3. 到50以下时，再关维持泵。 @ {#mpDX
4 o(bxs"
:jEPu3E:
eKN$jlg
ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 !:CJPM6j3
]XA4;7
镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm ceT&Y{T
1 mH%H*#
极限压力：5×10-4 Pa ^YvB9XN
X"q!Y#)
抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min
|
|