调查一下，你肯花多少钱加装射频离子源

最近在搞射频源，大致已经有眉目了。
具体参数如下：口径175mm;
阳极电压500~1200V，电流500~1200mA(自动匹配）;
射频阴极电流500~2000mA。（自动匹配）
启动时间比较短，大概5分钟就能达到平稳。
冷却时间需要比较长，大概10~30分钟。

栅网寿命大概2年左右，100小时保养一次，阴极50小时保养一次。

hl594566271	2021-06-05 16:40
这个阴极保养时间有点短了

ouyuu	2021-06-09 23:46
阴极保养时间主要看冷却时间。 [+P#tIL 一般要求阴极冷却30分钟后开门，但是国内客户一般等不了这么长时间， --DoB=5%8 10分钟左右就开门了，这种情况下阴极的氧化就会比较快。 A~mum+[5 所以只能多做保养。 G$sA`<< }1rm 如果你能每罩等三十分钟充分冷却的话，其实中和器不保养也没多大问题。 !kC*g

春风依旧	2021-10-13 14:27
射频对比，国产能达到也不错了，希望越来越好

聂光辉	2022-04-20 21:19
很多干扰因素会更多。有机会也会试试5+912651

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