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2021-05-20 09:39 |
用于抑制高衍射级次的角滤波体光栅
摘要 y(/5l 9~$E+m( 全息体光栅通常是由双/多光束干涉而制成的,以其波长和角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。仿真中给出了不期望的高衍射级的抑制。 c<lEFk!g azNv(|eeJL
#z70:-`.[M miTff[hsMa 建模任务 {;th~[ `>b,'u6F
SSbx[<E3 ,j9? 9Z7R 光栅角透射率分析(5°设计) ,jtaTG.> ,L.V>Ae
y<wd~!>Ubu m`n~-_ 光栅角透射率分析(10°设计) n(|n=P:o QC!SgV
S{v]B_N[M LEe{fc?{ 原始分束DOE系统 Ryygq,>VD. A0RSNAM
Ud2Tn*QmI `iN\@)E 体光栅的角滤波效应 9[W >`JKo l]#=I7 6
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体光栅的角滤波效应 ASrRMH[ Sv0?_3C
4e;$+!dlV ,Vo[mB 仿真设置注意事项 Rjlp< {IvA 5^
!f&hVLs0 FMM/RCWA仿真设置 ,c0LRO - 在本例中,全息体光栅的折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。 (;^>G[ - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。 =yM%#{t&W
s$(%?,yf2 r:g_mMvB 走进VirtualLab Fusion $-~"G,;F ;"ESN)*|i
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u^j- Io VirtualLab Fusion的工作流程 P,a9B2 Z
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