首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 [M+f-kl  
% ,+leKs  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 Da"j E  
V5}B:SUB  
B"%{i-v>**  
R8.CC1Ix  
建模任务 M'_9A  
{Zp\^/  
mKYeD%Pm*  
概观 r|,i'T  
ca+[0w@S  
@)SL_9  
光线追迹仿真 fu~ +8CE.  
;sHN/eF  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ou %/l4dC  
g2unV[()_  
•点击Go! {3&|tk!*  
•获得3D光线追迹结果。 x W92ch+t  
9cJH"  
%vBhLaE  
`5H$IP1XhA  
光线追迹仿真 V2N_8)s9W  
3"F`ZJ]=  
xLx]_R()  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 j(~ *'&|(  
•单击Go! *b]; |n{  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
< })'Y~i  
;'-olW~  
Q,80Hor#J  
a')|1DnR  
场追迹仿真  C:G8c[  
`U2DkY&n  
u :F~K  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 7.j[a*^  
•单击Go!
[d* ~@P  
t='# |');  
KM`eIw>8  
*28pRvY:b  
场追迹结果(摄像机探测器) C)cwAU|h#  
<x!GE>sf+  
+*_5tWAc  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 ApjOj/  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 . BiCBp<  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 5Vi> %5A>l  
~b:Rd{  
w^]6w\p  
pJ ?~fp  
场追迹结果(电磁场探测器) ?-Vjha@BO  
WKSPBT;  
N~F RM& x  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
~,2/JDVJ5-  
x|{IwA9  
k#5}\w!  
文件信息 GLGz 2 ,#  
Ye.r%i &  
?MQ.% J  
l9M0cZ,  
'FYJMIs  
QQ:2987619807 <EST?.@~+  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2026 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计