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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 v|7=IJ  
*B3 4  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 "8-;Dq'+  
9*<=K  
j1141md 5  
Sc/\g  
建模任务 "C/X#y   
7;i [  
0#d:<+4D  
概观  n$u@v(I  
=>LQW;Sjz  
LK}*k/eG  
光线追迹仿真 TS Ev^u)3  
8{f~tPY  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 11g_!X -g@  
|nMg.t`8  
•点击Go! Tp[-,3L  
•获得3D光线追迹结果。 i>aIuQ`pe  
xe&w.aBI>  
Ds<~JfVl  
!j8 DCVb  
光线追迹仿真 ng6".u9  
Aw) I:d7F  
51Q m2,P1^  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 O}3|UI!`  
•单击Go! ,vh $G 7D  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
4/?@ %  
WcOnv'l,  
UID0|+%Y  
k5@PZFV  
场追迹仿真 Jmml2?V-c  
~#];&WE  
oO4hBM([  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 QnTKo&|9  
•单击Go!
N!~5S`  
{~"fq.h!M  
Iy#=Nq=  
{bP )Fon  
场追迹结果(摄像机探测器) s J{J@/5  
]pq(Q:"P,5  
Z'!i"Jzq|{  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 eD,'M  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 _PPn =kuMa  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 V~ q b2$  
L6 IIk  
k~XDwmt;  
BS|$-i5L  
场追迹结果(电磁场探测器) _O3X;U7rc  
_zK ~9/5  
5kik+  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
`Fx+HIng,  
X-y3CO:&@h  
X#<+D1P  
文件信息 ^e{]WH?  
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k!"6mo@rd  
w'6sJ#ba(  
QQ:2987619807 .(%]RSBY  
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