首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2021-05-19 10:06
高NA物镜聚焦的分析
摘要
[M+f-kl
%,+leKs
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
Da"j E
V5}B:SUB
B"%{i-v>**
R8.CC1Ix
建模任务
M'_9A
{Zp\^/
mKYeD%Pm*
概观
r|,i'T
ca+[0w@S
@)SL_9
光线追迹仿真
fu~+8CE.
;sHN/eF
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
ou %/l4dC
g2unV[()_
•点击Go!
{3&|tk!*
•获得3D光线追迹结果。
xW92ch+t
9c JH"
%vBhLaE
`5H$IP1XhA
光线追迹仿真
V2N_8)s9W
3"F`ZJ]=
xLx]_R()
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
j(~ *'&|(
•单击Go!
*b];|n{
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
<})'Y~i
;'-olW~
Q,80 Hor#J
a')|1DnR
场追迹仿真
C:G8c[
`U2DkY&n
u :F~K
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
7.j[a*^
•单击Go!
[d* ~@P
t='# |');
KM`eIw>8
*28pRvY:b
场追迹结果(摄像机探测器)
C)cwAU|h#
<x!GE>sf+
+*_5tWAc
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
ApjOj/
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
. BiCBp<
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
5Vi>%5A>l
~b:Rd{
w^]6w\p
pJ ?~fp
场追迹结果(电磁场探测器)
?-Vjha@BO
WKSPBT;
N~F RM& x
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
~,2/JDVJ5-
x|{IwA9
k#5}\w!
文件信息
GLGz2 ,#
Ye.r%i&