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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 /cX%XZg  
VprrklZ  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 /J5)_> R:  
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建模任务 dr gCr:Gf  
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概观 s= bP@[Gj  
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光线追迹仿真 d "%6S*dL  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 oIv\Xdc81  
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•点击Go! K}( @Ek  
•获得3D光线追迹结果。 *%n(t+'q  
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光线追迹仿真 r E&}B5PN=  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 Oq[YbQ'GE  
•单击Go!  uWkn}P  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 sI5S)^'IQ  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 ld[BiP`B2V  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) sf Zb$T J  
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N gagzsJ=  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 589P$2e1X  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 3XIL; 5  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 C#@-uo2  
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~BC~^ D&WD  
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场追迹结果(电磁场探测器) X }Fqif4A  
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>9,LN;Ic  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 IweNe`Z  
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QQ:2987619807 N=j$~,yG  
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