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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 hdXdz aNS  
%D)W~q-g  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 ts<5%{M(  
_%?}e|epy  
t$m268m~  
t5\~Z}G8  
建模任务 9r+]V=  
'j 'bhG  
1(CpTaa  
概观 \25Rq/&w  
A36dj  
}S\\"SBC  
光线追迹仿真 -R?~Yysd7K  
Gc^w,n[E  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 h# c.HtVE  
dq+VW}[EO  
•点击Go! 8 2nQ]  
•获得3D光线追迹结果。 )$p<BLU  
"94e-Nx  
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9%^q?S/Rv  
光线追迹仿真 (C dx7v2Nh  
8J-$+ ;  
d9^ uEz(  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 B[%FZm$`M  
•单击Go! 9tDo5 29  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
\dO9nwa?  
.bE+dA6:v  
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场追迹仿真 ]:uJ&xUar  
g <S&sYF5  
q+<X*yC  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 H`odQkZ!  
•单击Go!
e<2?O  
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FH:^<^M  
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场追迹结果(摄像机探测器) M S$^m2  
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z UN&L7D  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 P(D0ru  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 DC4O@"  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 cy T,tN  
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Jn!-Wa,  
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场追迹结果(电磁场探测器) X%w`:c&  
ye !}hm=w  
I<yd=#:n  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
fn(< <FA)  
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文件信息 v0W w~4|],  
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QQ:2987619807 AT*J '37  
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