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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 WyUa3$[gO  
'\P+Bu]6&  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 _+<AxE9\  
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建模任务 8< "lEL|  
c@$W]o"A  
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概观 \F<C$cys\  
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} A}Vd:#  
光线追迹仿真 Fyc":{Jd  
V5+|H1=  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 x";4)u=  
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•点击Go! v"dl6%D"  
•获得3D光线追迹结果。 h4c4!S  
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光线追迹仿真 &7KX`%K"D  
uC?/p1  
P?zL`czWd  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 v&xhS yZ  
•单击Go! LGWQBEXw  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
Pk^V6-  
Kk>va->R  
Ca3 {e1  
*-@@t+3  
场追迹仿真 hmv*IF.  
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QLZ%m$Z  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 Q'rX]kk_  
•单击Go!
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@XH@i+ {B  
on f7V  
场追迹结果(摄像机探测器) #3YYE5cB  
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cB2~W%H  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 XpdjWLO]C<  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 Y~U WUF%aK  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 dbfI!4  
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a'7RzN ,]  
Jy0(g T  
场追迹结果(电磁场探测器) (o!i9)  
D/tFN+|P  
OJs s  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
yXro6u?rC  
,772$7x  
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文件信息 p:Zhg{sF  
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/+f3jy:d  
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QQ:2987619807 ?DC;Hk<  
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