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infotek 2021-04-29 10:12

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 /%EKq+ZP  
* t6 XU  
关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run 79U Th@r}  
b#bdz1@s  
所需工具:Grating Toolbox Basic wUWSW<  
DeE-M"  
相关TutorialsG.001; G.014 S8*VjG?T\  
建模任务 Pk9s~}X  
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理想平面波照射 sfNXIEr^  
xx0s`5  
EF=.L{  
zvf:*Na")  
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oJe9H<  
镀膜倾斜光栅          目标平面 O( G|fs  
:#0uy1h  
周期:10um !-b4@=f:  
厚度:10um _+g5;S5  
倾斜角度:20 }$!bD  
Oe4 l` =2  
光栅的参数 3p{N7/z(  
N]R<EBq  
—倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 IG0$OtG  
—填充因子                           2—后面的介质     OLUQjvnU  
—膜层厚度                           3—膜层材料 WLW'.  
—光栅厚度 kKVd4B[#*  
=Xh^@ OR  
biG=4?Xl  
s|rlpd4y  
e `zEsLs@  
TJ[C,ic=D  
设置层数和转折点 D.Rk{0se8  
yaD<jc(O  
tt%Zwf  
2       设置层数和转折点以确定膜层 Cbm  
U^vQr%ha  
;ZX P*M9  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 Epj  
h=SQ]nV{  
fx %Y(W#5  
实现可编程光栅 x3=W{Fv@4  
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B3K!>lz  
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参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) . +> w0FG.  
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参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) &B^#? vmO  
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   j)ZvlRi,  
参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 5,`U3na,  
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2       双击Data Series Diagram QEL^0c8~  
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采样结果 ;~T)pG8IS  
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
I7TdBe-  
kRs[H xI3  
QQ:2284816954 备注:光学
jxwhunu 2021-06-10 08:47
学习了,谢谢
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