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infotek 2021-04-25 11:39

具有变化周期的亚波长光栅成像

摘要 AEe*A+  
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当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 +8v^J8q0  
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1. 建模任务 nO,<`}pV  
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2. 结果 I+kDx=T !  
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3. 文件和技术信息 N3!x7J7A  
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