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infotek 2021-04-15 10:55

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 W0_ pO  
~8l(,N0  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ) u Sg;B4  
TcEvUZJ"  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 jPc"qER!  
?CU6RC n  
所需工具箱子:光栅工具箱 {a6cA=WTPd  
M|DVFC  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 (Xv' Te?  
{2,vxGi  
建模任务 YggeKN  
.0]\a~x  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 H.=S08c3kA  
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43m@4Yb  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 J,SP1-L  
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INjr$'*  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 2uZ4$_  
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qr<RMs  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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2>+(OL4l  
1=U NA :t<  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 s:ZYiZ-  
orON)S ks  
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 (<KFA,  
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UYw=i4J'  
X线偏振光模拟结果:
19j"Zxdg Y  
iKM!>Fi  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 :}*   
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 <N'v-9=2jl  
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Y线偏光模拟结果 zN3b`K. i  
[L ?^+p>  
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 !*G%vOa  
结论: sD ,=_q@  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 Em ;2fh  
QQ:2284816954 备注:光学
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