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infotek 2021-04-15 10:55

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ;wMu  
H8w[{'Mei  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 `l]Lvk8O  
S~:uOm2t\  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 g "Du]_,  
X8m-5(uW  
所需工具箱子:光栅工具箱 /g>-s&w  
&UH0Tw4   
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 Brxnl,%\  
X(/fE?%;  
建模任务 w` +,  
i ed 1+H  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 a k5D  
{v'eP[  
J#C4A]A  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 yn!;Z ._  
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r1 :TM|5L  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 h^rG5Q  
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选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
b * \ oQ  
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X[h{g`  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ahg P"Qz  
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 wowf 1j-  
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X线偏振光模拟结果:
>[wxZ5))  
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探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 =_=%1rI~  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Mhn1-ma:  
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Y线偏光模拟结果 Vp; `!+z"  
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L *\[;.mk  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 GmNCw5F  
结论: @BLB.=  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 !D1#3?L  
QQ:2284816954 备注:光学
3}V (8  
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