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infotek 2021-04-15 10:55

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 2so!  
I$Op:P6.E  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 S(*sw 0O@+  
=V-|#j  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 hRD=Y<>A  
$m-2Hh qZ  
所需工具箱子:光栅工具箱 9 %I?).5  
n|RJ;d30Q  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 U`NjPZe5^  
D!Pq4'd(  
建模任务 +b3RkkC  
?En O"T.  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 VKG&Y_7N  
_C*fs< #  
!C3MFm{B  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 wc}5m Hs  
Ch|jtVeuyJ  
87 $dBb{  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ?kH8Lw~{5W  
gv- xm  
'}Z~JYa0  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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<oT^A|JFj  
d\|?-hY`[  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 )f[ B6Y  
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 vyK7I%T'R  
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X线偏振光模拟结果:
l3Q(TH~I  
g9}DnCT*.  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 /'l{E  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 i1NY9br  
g(qJN<R C/  
(a.z9nqGA  
Y线偏光模拟结果 ff,pvk8N5  
'MUv5 Th  
hIs4@0  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 5 ZGNz1)?V  
结论: N`5,\TR2f  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 j,lT>/  
QQ:2284816954 备注:光学
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