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2021-04-15 10:55 |
镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟
案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 WelB+P2 [% chN/ 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 g*b
4N_ @rs(`4QEh 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜
#.O,JG#H SNP.n)) 所需工具箱子:光栅工具箱 qGMM3a)Q Oq"(oNG@ 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 /x.TF'Z* +3.Ik,Z}zq 建模任务 2mL1BG=Yk I(BG%CO9 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 A.7:.5Cx' EM/NT/
f])?Gw 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 h}xUZ: uY0V!W :PtpIVAosg 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 3nuf3) M ,V+bt >yvP[$]!6 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 `NA[zH,w3 G%)?jg@EA WujIaJt- 7}bjJR " 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 E#"QaI8` ga#,42)H Q0~5h?V' 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 !8&,GT ||
?B1 GkMNV7"m X线偏振光模拟结果: qG"|,bA
Sp)KtMV 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 -Nmf}`_ 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 w?ssV 9[DQ[bL )6)|PzMQ' Y线偏光模拟结果 G],+?E_, >V(>2eD'S :NU-C!eT 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 "_+X#P
x 结论: @_YEK3l]l 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 FW7+!A&F QQ:2284816954 备注:光学 o^~6RZ
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