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infotek 2021-04-15 10:55

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 WelB+P2  
[% chN /  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 g*b 4N _  
@rs(`4QEh  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 #.O,JG#H  
SNP.n))   
所需工具箱子:光栅工具箱 qGMM3a)Q  
Oq"(oNG@  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 /x.TF'Z*  
+3.Ik,Z}zq  
建模任务 2mL1BG=Yk  
I( BG%CO9  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 A.7:.5Cx'  
EM/NT/  
 f])?Gw  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 h}xUZ:  
uY0V!W  
:PtpIVAosg  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 3nuf3)  
M,V+bt  
>yvP[$]!6  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
`NA[zH,w3  
G%)?jg@EA  
WujIaJt-  
7}bjJR "  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 E#"QaI8`  
ga#,42)H  
Q0~5h?V'  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 !8&,GT  
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GkMNV7"m  
X线偏振光模拟结果:
qG"|,bA  
Sp)KtMV  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 -Nmf}`_  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 w?ssV  
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)6)|PzMQ'  
Y线偏光模拟结果 G],+?E_,  
>V(>2eD'S  
:NU-C!eT  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 "_+X#P x  
结论: @_YEK3l]l  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 FW7+!A&F  
QQ:2284816954 备注:光学
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