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2021-03-30 11:09 |
二元光栅设计流程
具有直壁或倾斜侧壁的二元光栅已成为许多光学应用中的关键部件。 感谢纳米压印技术，使小尺寸的光栅的制造已经变得可行。 VirtualLab Fusion采用内置的傅里叶模态方法（FMM，也称为RCWA）和不同的优化算法，为二元光栅提供了完整的用户友好的设计工作流程，和随后的制造误差分析，如圆边效应。 x= 5N3[5
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高效偏振无关透射光栅的分析与设计 D/Mi^5H)
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倾斜光栅的参数优化与公差分析 ^G.B+dG@`x
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