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2021-03-16 08:35 |
MEMS技术发展史
MEMS技术发展史 dH?pQ
MEMS技术发展的时间轴，从从1947年制造的第一个点接触晶体管开始，到1999年的光网络交换机结束，50多年间，MEMS通过诸多创新，促进了当前MEMS技术和纳米技术的发展。 eC[ g"Ef
下面关于MEMS历史上主要的35项里程碑，看看你知道多少? ot_jG)
1948年，贝尔实验室发明锗晶体管(William Shockley) F
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1954年，锗和硅的压阻效应(C.S.Smith) 8y|(]5
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1958年，第一块集成电路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年) Q{>9Dg
1959年，"底部有很多空间"(R.Feynman) Bw{@YDO{
1959年，展示了第一个硅压力传感器(Kulite) t:m
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1967年，各向异性深硅蚀刻(H.A.Waggener等) ~+CNED0z+
1968年，谐振门晶体管获得专利(表面微加工工艺)(H.Nathanson等) pC 5-,Z;8
1970年，批量蚀刻硅片用作压力传感器(批量微加工工艺) 5w GyM10
1971年，发明微处理器 c v#H
1979年，惠普微加工喷墨喷嘴 <6v7_
1982年，"作为结构材料的硅"(K.Petersen) '\_ic=&u
1982年，LIGA进程(德国KfK) yv$MQ ~]
1982年，一次性血压传感器(霍尼韦尔) $?*+P``
1983年，一体化压力传感器(霍尼韦尔) yMo@ka=v
1983年，"Infinitesimal Machinery"，R.Feynman。 zoUW }O
1985年，传感器或碰撞传感器(安全气囊) t{?_]2vl
1985年，发现"Buckyball" R L)' m
1986年，发明原子力显微镜 _r^&.'q
1986年，硅片键合(M.Shimbo) egr@:5QwZ{
1988年，通过晶圆键合批量制造压力传感器(Nova传感器) Ir0er~f+z
1988年，旋转式静电侧驱动电机(Fan、Tai、Muller) ORfA]I-u
1991，年多晶硅铰链(Pister、Judy、Burgett、Fearing)。 r 9 *{)"
1991年，发现碳纳米管 {qOSs,+= L
1992年，光栅光调制器(Solgaard、Sandejas、Bloom) z,2m 7C
1992年，批量微机械加工(SCREAM工艺，康奈尔) k{@z87+&
1993年，数字镜像显示器(德州仪器) d%]7:
1993年，MCNC创建MUMPS代工服务 R^PQ`$W 'R
1993年，首个大批量生产的表面微加工加速度计(Analog Devices) b~#rUOXb8?
1994年，博世深层反应离子蚀刻工艺获得专利 -09<; U
1996年，Richard Smalley开发了一种生产直径均匀的碳纳米管的技术 aQRZyE }
1999年，光网络交换机(朗讯) PN\2 ^@>_
2000年代，光学MEMS热潮 g2iSc
2000年代，BioMEMS激增 1XHGW=n
2000年代，MEMS设备和应用的数量不断增加。 t%FS 5
2000年代，NEMS应用和技术发展#半导体# #芯片# #mems# m m`:ci
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