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2021-03-16 08:35 |
MEMS技术发展史
MEMS技术发展史 Nj rF":'Y
MEMS技术发展的时间轴，从从1947年制造的第一个点接触晶体管开始，到1999年的光网络交换机结束，50多年间，MEMS通过诸多创新，促进了当前MEMS技术和纳米技术的发展。 k Pi%RvuQ
下面关于MEMS历史上主要的35项里程碑，看看你知道多少? p.A_,iE
1948年，贝尔实验室发明锗晶体管(William Shockley) MxQhk Y-=
1954年，锗和硅的压阻效应(C.S.Smith) ;4>YPH
1958年，第一块集成电路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年) #>i Bu:\J
1959年，"底部有很多空间"(R.Feynman) @.0>gmY;:
1959年，展示了第一个硅压力传感器(Kulite) _~/F-
1967年，各向异性深硅蚀刻(H.A.Waggener等) aMe]6cWHV>
1968年，谐振门晶体管获得专利(表面微加工工艺)(H.Nathanson等) [ uU"=H|
1970年，批量蚀刻硅片用作压力传感器(批量微加工工艺) }E0~'
1971年，发明微处理器 `<2k.aW4e8
1979年，惠普微加工喷墨喷嘴 lqe|1vN
1982年，"作为结构材料的硅"(K.Petersen) (0dy,GRN
1982年，LIGA进程(德国KfK) [
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1982年，一次性血压传感器(霍尼韦尔) e=Ko4Ao2y
1983年，一体化压力传感器(霍尼韦尔) R/ix ,GC
1983年，"Infinitesimal Machinery"，R.Feynman。
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1985年，传感器或碰撞传感器(安全气囊) b +Sq [
1985年，发现"Buckyball" ;)$bhNFHx
1986年，发明原子力显微镜 js;p7wi
1986年，硅片键合(M.Shimbo) -FpZZ8=,M2
1988年，通过晶圆键合批量制造压力传感器(Nova传感器) E6JfSH#
1988年，旋转式静电侧驱动电机(Fan、Tai、Muller) @+Y ql
1991，年多晶硅铰链(Pister、Judy、Burgett、Fearing)。 !xk`oW
1991年，发现碳纳米管 FnxPM`Zx
1992年，光栅光调制器(Solgaard、Sandejas、Bloom) '2Q[g0VR
1992年，批量微机械加工(SCREAM工艺，康奈尔) <` [o|>A Z
1993年，数字镜像显示器(德州仪器) !i j
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1993年，MCNC创建MUMPS代工服务 - w'
1993年，首个大批量生产的表面微加工加速度计(Analog Devices) 0,~||H{
1994年，博世深层反应离子蚀刻工艺获得专利 %hDx UZ#0
1996年，Richard Smalley开发了一种生产直径均匀的碳纳米管的技术 uDD{O~wF,
1999年，光网络交换机(朗讯) A.tXAOM(VW
2000年代，光学MEMS热潮 $~7uDq
2000年代，BioMEMS激增 bpP- wA^Hd
2000年代，MEMS设备和应用的数量不断增加。 E{ s p
2000年代，NEMS应用和技术发展#半导体# #芯片# #mems# =r|e]4
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