| 探针台 |
2021-03-16 08:35 |
MEMS技术发展史
MEMS技术发展史 ^SsdM#E
MEMS技术发展的时间轴，从从1947年制造的第一个点接触晶体管开始，到1999年的光网络交换机结束，50多年间，MEMS通过诸多创新，促进了当前MEMS技术和纳米技术的发展。 p:4-b"O
下面关于MEMS历史上主要的35项里程碑，看看你知道多少? Vpp$yM& ?
1948年，贝尔实验室发明锗晶体管(William Shockley) o2B |r`R
1954年，锗和硅的压阻效应(C.S.Smith) oexTz[
1958年，第一块集成电路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年) n_4.`vs
1959年，"底部有很多空间"(R.Feynman) Kp*3:XK
1959年，展示了第一个硅压力传感器(Kulite) qLN\>Z,3;
1967年，各向异性深硅蚀刻(H.A.Waggener等) ,t QN L\t
1968年，谐振门晶体管获得专利(表面微加工工艺)(H.Nathanson等) Iila|,cM
1970年，批量蚀刻硅片用作压力传感器(批量微加工工艺) M"W#_wY;
1971年，发明微处理器 cWyf04-?
1979年，惠普微加工喷墨喷嘴 @{#'y4\>
1982年，"作为结构材料的硅"(K.Petersen) WY QVe_<z:
1982年，LIGA进程(德国KfK) {ZSAPq4)L
1982年，一次性血压传感器(霍尼韦尔) *J]p/<> {
1983年，一体化压力传感器(霍尼韦尔) *Gv:N6
1983年，"Infinitesimal Machinery"，R.Feynman。 Q=d:Yz":S
1985年，传感器或碰撞传感器(安全气囊) ;hODzfNkS
1985年，发现"Buckyball" g33Y$Xdk
1986年，发明原子力显微镜 *z6A ~U
1986年，硅片键合(M.Shimbo) 0 FE_><e
1988年，通过晶圆键合批量制造压力传感器(Nova传感器) Q Hja4/
1988年，旋转式静电侧驱动电机(Fan、Tai、Muller) JL!^R_b&c
1991，年多晶硅铰链(Pister、Judy、Burgett、Fearing)。 g]JRAM
1991年，发现碳纳米管 @`+\v mfD
1992年，光栅光调制器(Solgaard、Sandejas、Bloom) [kpQ:'P3
1992年，批量微机械加工(SCREAM工艺，康奈尔) 0sA`})Dk
1993年，数字镜像显示器(德州仪器) O-ENFA~E;v
1993年，MCNC创建MUMPS代工服务 sN-u?EiF8
1993年，首个大批量生产的表面微加工加速度计(Analog Devices) A$7K5
1994年，博世深层反应离子蚀刻工艺获得专利 6T+y m9
1996年，Richard Smalley开发了一种生产直径均匀的碳纳米管的技术 r_ +!3
1999年，光网络交换机(朗讯) H" A@Q.'
2000年代，光学MEMS热潮 [O'aka
Q
2000年代，BioMEMS激增 cUP1Uolvn
2000年代，MEMS设备和应用的数量不断增加。 ]K8G}|Wy6
2000年代，NEMS应用和技术发展#半导体# #芯片# #mems# [ _ `yy
[attachment=106228] -dF (_ %C
|
|