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summer20200907 2021-03-15 11:15

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 UG=K|OXWJ  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 a!O0,y  
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建模任务 }.s~T#v  
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1阶的参数优化 3}e%[AKh  
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结果-容差分析 RjN{%YkXe  
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在VirtualLab Fusion中查看 :Y[LN  
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VirtualLab Fusion的工作流程 '*3h!lW1.  
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•构造光栅结构 >rf'-X4n  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] d QqK^#  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] &G-!qxe  
•分析光栅衍射效率 xoN3  
- 光栅级次分析器[用例] [EKQR>s)  
•使用参数优化优化光栅参数 ]?(-[  
•使用参数运行进行容差分析 sfNE68I2  
- 参数运行文档的用法[用例] 3U0`,c\ao*  
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VirtualLab Fusion技术 z*!%g[3I  
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文件信息 hbY5l}\5  
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