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镀膜倾斜光栅
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infotek
2021-01-11 10:45
镀膜倾斜光栅
镀膜倾斜光栅通过
VirtualLab
的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(
Parameter Run
)进行分析。
r!N> FE
]/#3 P
关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(
Parameter Run
)
nk*T x
ykS-5E`
所需工具:
Grating Toolbox Basic
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镀膜倾斜光栅
(|2:^T+
目标平面
J1u&Ga
jmBsPSGIC
周期:
10um
BhzcimC)
厚度:
10um
?:Sqh1-z
倾斜角度:
20
度
Vr7L9%/wg
xFScj0Y
光栅的参数
c }7gHud
zHX7%x,Cq
—倾斜角度
1
—(光栅)前面的介质
+C36OcmT~
Z [YSET
—填充因子
2
—后面的介质
Tr.u'b(
—膜层厚度
3
—膜层材料
XS(Q)\"
—光栅厚度
WkMB
o_sb+Vn|
B%I<6E[D
7Tc^}Q
<u}[_
8dLK5"_3
设置层数和转折点
++!'6!l
Ou] !@s
em9nuXG
2
设置层数和转折点以确定膜层
S=a>rnF
pS~=T}o
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2
可以通过
Structure Preview
按钮查看
v=~+o[
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YJF|J2u
实现可编程光栅
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参数运行
Parameter Run
(绕
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轴旋转)
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参数运行
Parameter Run
(绕
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轴旋转)
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S|O#KE
参数运行
Parameter Run
(绕
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轴旋转)
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<C_FRpR<f
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2
双击
Data Series Diagram
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m[nrr6 G"
采样结果
ojx2[a\
|`' WEe2
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
1 fTf+P
;!B,P-Z"g
QQ:2987619807
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