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2021-01-11 10:45 |
镀膜倾斜光栅
镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Kk?C
9p{7 x[ C
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） \2Atm,#4
g4-UBDtYt
所需工具：Grating Toolbox Basic OPtFz6
dNg5#?mzT5
相关Tutorials：G.001; G.014 y.PsC '
建模任务 ]6BV`r]
8+yC P_Y4
理想平面波照射 l k?@ =U~
$> csm
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镀膜倾斜光栅 U6/$CH<pe
目标平面 n#Y= y#
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周期：10um ,Vd NP
厚度：10um JsZLBq*lP
倾斜角度：20度 f+xhS,iDR
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光栅的参数 &oXN*$/dlJ
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—倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 '1r<g\ l
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—填充因子 2—后面的介质 CqkY _z
—膜层厚度 3—膜层材料 {^jk_G \ys
—光栅厚度 nQ 5N\RAZ
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设置层数和转折点 xb22 :
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 2 设置层数和转折点以确定膜层 L5 5VS:'
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2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ,}jey72/k
7~2c"WE
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实现可编程光栅 x3L0;:Fx8P
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参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转）
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参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） WTX!)H6Zv
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参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） iQ#dWxw4
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2 双击Data Series Diagram [MI ?
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采样结果 7:$zSj# y
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. qtYVX:M@,
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QQ：2987619807
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