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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 K}[>T(0E  
[NnauItI  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） %tA57Pn>  
f[gqT yiP  
所需工具：Grating Toolbox Basic 2?Ye*-  
'2hbJk  
相关Tutorials：G.001; G.014 K[ .JlIP  
建模任务 fIoIW&iy  
7dihVvL $  
理想平面波照射 DjMf,wX-{  
+@X5!S6  
[fu!AIQs  
y( r1I[W'  
wLuv6\E  
M8w5Ob  
镀膜倾斜光栅 S)He$B$pp  
目标平面 6]Q3Yz^h  
l? #xAZx&_  
周期：10um Kex[ >L10G  
厚度：10um xChI ,~i  
倾斜角度：20度 33:DH}  
'NZGQeb K  
光栅的参数 31Cq22"  
 Gt9wR  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 _RMQy~&b  
9?+9UlJ7K  
—填充因子                           2—后面的介质 4n 3Tp{Y}  
—膜层厚度                           3—膜层材料 b M;`s5d  
—光栅厚度 E_ $z`or  
4{9d#[KW  
4dH}g~[P9  
m$>iS@R  
 8YY|;\F)J~  
K0+ ;b u  
设置层数和转折点 9-*NW0  
YHxbDf dA  
e^).W3SK]  
2       设置层数和转折点以确定膜层 eR']#Q46{T  
bC@k>yC-  
)J/HkOj"V  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 )tZ`K |  
?4PQQd  
jRkC/Lw  
实现可编程光栅 s #:%x#  
t[.W$1=  
>AD =31lq  
}|8*sk#[  
 <v]9lw'  
DrS~lTf=>  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ;##]G=%  
8 ?TKN~ja  
J$uM 03  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） #,f{Ok+  
wN]J8Ir  
@ "d2.h  
^,s?e.u$8`  
sn\;bq  
   tR`S#rk  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） gzfbzt}?  
oC dGQ7G}  
OS7R Qw1  
2       双击Data Series Diagram \&|CM8A  
MB$a82bY  
采样结果 UKB_Yy^Y  
c;!g  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ?A=b6Um  
MZm'npRf  
QQ：2987619807
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