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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 8.:WMH`  
a}Z+"D  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） qTSe_Re  
m*.+9 6  
所需工具：Grating Toolbox Basic !Ahxi);a  
c2gi 3  
相关Tutorials：G.001; G.014 x~Dj2 F]  
建模任务 L'w]O -86  
erh ez  
理想平面波照射 NFyKTA6  
{y'4&vt<~  
h[mJ=LIrg  
k [LV^oEg  
~owodc  
G6dUm_iB  
镀膜倾斜光栅 U C_$5~8p  
目标平面 /0o#V-E)  
Sm{> 8e}UE  
周期：10um L2=:Nac  
厚度：10um m(D+!I9  
倾斜角度：20度 fejC ,H4I  
~1{ppc+  
光栅的参数 3l"8_zLP  
[{`2FR:Cd  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 0Py*%}r1  
"n_X4e+18P  
—填充因子                           2—后面的介质 <_c8F!K)T  
—膜层厚度                           3—膜层材料 5M/~ |"xk  
—光栅厚度 SsPZva  
LmytO$?2(  
ac\([F-  
[r!f&R  
 0U~*uDU  
>7PNl\=gG  
设置层数和转折点 3YJ"[$w='(  
SgYMPBh  
Mo5b @ [  
2       设置层数和转折点以确定膜层 d&\3}uH  
!*f$*,=^  
x[0O*ty-*<  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 ITg<u?z_  
0?}n(f!S  
X`1R&K;z^  
实现可编程光栅 ,ga6   
 6']HmM  
;s;3cC!  
^,,}2dsb>  
 C$0g2X  
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参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） . !Pg)|  
Inn{mmz 1  
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参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） PfZS"yk  
aZ+><1TD  
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6T4I,XrY_F  
dt^h9I2O  
   L7d1)mV  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Q@7d:v  
:W5W @8Y  
9}u,`&  
2       双击Data Series Diagram yIrJaS-  
#f YB4.i~  
采样结果 yu)^s!UY;  
~MBPN 4r  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. g;v;xlY`N  
Pc_aEBq  
QQ：2987619807
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