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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 aF{_"X2  
rf.pT+g.P  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） WRh5v8Wz0  
q2qi~}l  
所需工具：Grating Toolbox Basic D*XrK0#Z`  
SepjF  
相关Tutorials：G.001; G.014 BuJo W@)  
建模任务 Yh":>~k?SY  
*c0H_8e  
理想平面波照射 vl"w,@V7  
C"{^wy{sL  
g9_zkGc7  
z5+Pi:1w  
]K=#>rZrB  
zA,vp^  
镀膜倾斜光栅 88g3<&  
目标平面 jkAjYR.  
M&Uy42,MR  
周期：10um D!<F^mtl  
厚度：10um `zd,^.i5~  
倾斜角度：20度 o<`vh*U@,4  
`+7F H  
光栅的参数 fqNh\~kja  
6EqA Y`y  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 ?|nl93m  
LU1I `E  
—填充因子                           2—后面的介质 ZlT }cA/n  
—膜层厚度                           3—膜层材料 wq)*bIv  
—光栅厚度 {15j'Qwm  
!b8V&<  
o3J#hQrl  
-t`kb*O3`  
 <_EKCk  
 N5 ME_)  
设置层数和转折点 OgQd yU  
|{(<A4W  
]33!obM  
2       设置层数和转折点以确定膜层 t^s&1#iC  
l45/$G7  
u[>"_!T  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 S}6Ld(_  
( }-*irSsj  
r $7.  
实现可编程光栅 AIF ?>wgq  
!3Q0Ahf  
c[dSO(=  
N5Js.j>z  
 I!x.bp~V!  
Y:^hd809  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） _~kw^!p>Kr  
CM6% g f3  
6h 0qtXn-  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） z0"t]4s  
!_QI<=X  
`Os=cMR  
l;?:}\sI=  
u]^ s2v  
   5ggyk0  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） mm/\\my  
^q7V%{54  
/MZ<vnN7f  
2       双击Data Series Diagram &@~K8*tmK  
|9* Rnm_  
采样结果 #bOv}1,s  
XlppA3JON|  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 4:/]Y=)x  
^e:z ul{;]  
QQ：2987619807
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