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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 IyrZez  
Q3N y5G>  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） k7:GS,7  
B rez&3[  
所需工具：Grating Toolbox Basic [$hptQv  
z*Myokhf  
相关Tutorials：G.001; G.014 >k$[hk*~  
建模任务 B, QC -Tn  
v< 65(I>  
理想平面波照射 LFk5rv'sM0  
4]Un=?)I  
P@gu~!  
Qh)|FQ[s$r  
)![f\!'PI  
 :pA=V  
镀膜倾斜光栅 O!#L#u53  
目标平面 s|{^ }4{  
5QqJ I#4~  
周期：10um btUUZ"q<  
厚度：10um }V1DyLg :  
倾斜角度：20度 hN>('S-cq  
 IgzCh  
光栅的参数 R-g>W  
LV}UBao5n  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 H]% mP|  
iFAoAw(  
—填充因子                           2—后面的介质 . 1{vpX  
—膜层厚度                           3—膜层材料 vR6^n~  
—光栅厚度 b9W<1eqF  
afxj[;p!  
5~`|)~FA  
+XU$GSw3(  
 ~|aeKtCs(.  
4=?Ok":8  
设置层数和转折点 !7O=<  
NPB,q& Th  
p%1xj2 ?nN  
2       设置层数和转折点以确定膜层 oW yN:Qh  
H3p4,Y}'#  
# `N6<nb  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 gTmUK{y'  
+(QMy&DtS  
Mm>zpB`qP  
实现可编程光栅 zVc7q7E  
J { GFb  
9sfB+]}h  
(/9.+V_  
 %#S"~)  
(!XYH@Mz<w  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） < tu[cA>  
94qHY1rp  
e-Ybac%  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） C]\^B6l<  
6*(h9!_T1  
^B&ahk  
X-G~/n-x  
1,%#O;ya  
   @MlU!oR&  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） }<}`Q^Mlk  
PtPGi^  
% L %1g  
2       双击Data Series Diagram wH(vX<W-E  
+AgkPMy  
采样结果 <u x*r#a!d  
Fl#VKU3h  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. JT.\f,z&  
RB% fA%d  
QQ：2987619807
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