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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 O,bj_CWx  
k_^d7yH  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 w,l1&=d  
jR48 .W  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 gy>2=d  
G U!XD!!&  
所需工具箱子:光栅工具箱 Qn<< &i~  
vI+PL(T@  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 O" z=+79q  
I*24%z9  
建模任务 O aZ~  
~gV|_G  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 YZoH{p9f  
}R J2\CP  
,+q5e^P  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 F\XzP\  
oACE:h9U  
`yVJ `} hm  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 a|fyo#L  
i %z}8GIt'  
3w0m:~KS6V  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
Dm5UQe  
CUYp(GU  
.AV--oA~  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 q_W NN/w  
;/YSQt)rc>  
HFf| >&c&  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 -nU_eDy  
l,d8% \  
b|xz`wUH0$  
X线偏振光模拟结果:
>`lf1x  
BgE]xm  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 K&S~IFy  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ~=c#Ff =Z  
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F 6SIhf.;  
Y线偏光模拟结果 [,fMh $t  
[y:6vC   
n'R 8nn6^  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 CwT52+Jb  
结论: 20K<}:5t1  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 "7gHn0e>  
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QQ:2987619807
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