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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 KS%xo6k.  
$'kIo*cZ  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 N )&3(A@  
fq\E$'o$  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 9n44 *sZ  
x+^iEj`gk  
所需工具箱子:光栅工具箱 @'~v~3 $S  
o3%Gc/6%  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 G$`/86A)  
{wCQ#V  
建模任务 M-0BQs`N  
*Q5/d9B8TN  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 7FfzMs[ \e  
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G9^!= v@  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 $FCLo8/=  
8+ Hho@=  
+FyG{1?<  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Pm V:J9  
K]Ed-Tz8QZ  
$40tAes9  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 #@ lLx?U  
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m!w(Q+*j  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 :'a |cjq  
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6|["!AUI  
X线偏振光模拟结果:
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1;g>?18@  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 iv:[]o  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 e3\*Np!rTQ  
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Y线偏光模拟结果 l}K {=%U>7  
2Vt iL^;5  
s$|GVv1B  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 3S +.]v>  
结论: dk-Y!RfNx  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 8^^Xr  
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QQ:2987619807
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