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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 .a_xQ]eQ  
[+3~wpU(p  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 s~b!3l`gu  
+01bjM6F_1  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 5uAUi=XA>S  
W5U;{5  
所需工具箱子:光栅工具箱 f1wwx|b%.  
6xW17P  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 3;er.SFu{  
VD0U]~CWR  
建模任务 eFz!`a^dX  
(U_dPf  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 _OY<Hb3%M  
cS;O]>/5  
& m~   
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 p8X$yv  
KKGwMJku}  
Epm%/ {sHV  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 r.10b]b  
Y}hz UKJ  
fK1^fzV  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
^!x}e+ o  
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Z*kZUx7I<  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 gVpp9VB  
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 _/RP3"#  
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X线偏振光模拟结果:
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hZDv5]V:0  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 _^Lg}@t  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 S X6P>:`  
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Y线偏光模拟结果 O\[Td  
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Nk/Ms:57y  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 2apQ4)6#[H  
结论: d +Bz pS@p  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 *EzAo  
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QQ:2987619807
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