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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 x45F-w{  
Jg&f.  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 tt&{f <*  
wO]H+t  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 HSACaTVK  
d(vt0  
所需工具箱子:光栅工具箱 wEl/s P  
0Fs2* FS  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 F\<{:wu   
GCrsf  
建模任务 FW4#/H  
QwnqysNx4  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 L7yEgYB  
~T=a]V  
V|2[>\Cv  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 DU@SXb  
%y+v0.aWH+  
=|V#~p*  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ddlF4L_  
ka$la;e3  
yi<H }&  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
IRsyy\[kp8  
fKkS_c 2  
EiPOY'  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 RV@mAw.T  
dp }zG+  
}gQnr;lv  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Xz'o<S  
7! /+[G  
rL/H{.@$`  
X线偏振光模拟结果:
A ? [Wfq|  
xeRoif\4c  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 =]LAL w  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 xE6hE'rh.O  
rDLgQ{Sea  
C:vVFU|4  
Y线偏光模拟结果 N3\vd_D(  
pvdCiYo1r  
g7v(g?  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 gq.l=xS  
结论: x.q"FXu  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 Pu,2a+0N  
"BC;zH:  
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QQ:2987619807
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