| 探针台 |
2020-12-10 16:43 |
形貌观测、成分分析
SEM/EDX（形貌观测、成分分析）扫描电镜（SEM）可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的，根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。通常EDX结合电子显微镜（SEM）使用，可以对样品进行微区成分分析。 LO)p2[5#R
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应用范围：军工，航天，半导体，先进材料等 iLf* m~Q
测试内容： #;<dtw
1. 材料表面形貌分析，微区形貌观察 X/23 /_~L`
2.材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析 &u~% 5;
3.薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析 -<^ 3!C >
4.纳米尺寸量测及标示 3 /LW6W|
5.微区成分定性及定量分析 Z8WBOf*~e
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