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2020-10-28 09:35 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 P!>g7X j)Lo'&Y~= 任务说明 CgoXZX #01/(:7 ~>w:;M=sV8 \P@S"QO 灵活地导出制造数据: \>;%Ji - 平滑的界面 paYz[Xq - 量化界面 EP0a1.C - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 [)iN)$Mv @SQceQfB 亮点 h&$Py 导出各种表面形状的制造数据 Bn_g-WrT 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 PHl4 vh#E! +Z$a1Y@
(-'PD_| 一般界面的制造数据 [U']kt }
Ab_o#Zy |DGCdB|`G EGEMZCdk2 支持文件格式: &&*wmnWCS{ - 纯文本 ,L~snR'w - ASCII码 mVHFT~x7} - 点云 ]eD [4Y\#t - CAD格式(例如,STL,IGES)
\aB&{`iG O E]~@eU STL导出平滑界面(例如Asphere) e~*S4dKR AD,@,|A 采样高度剖面的STL导出 U#$:\fT R1~7F{FW vS2(Q0+TZi
@@; 1%z 量化界面的GDSII导出 I'P.K| "R 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 | 4%v"U 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 #e*$2+`[A y
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hPS/CgLq PC用于模拟的规格 /T{mS7EpYc '2j~WUEmg
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