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2020-10-28 09:35 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 /nQ`&q wT_h!W 任务说明 eUBrzoCO @_yoX(.E& caq} &A]C bw S*]!* 灵活地导出制造数据: j-b* C2l - 平滑的界面 Im?LIgt$ - 量化界面 :dnJY%/q - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 8@\7&C(g17 i.y)mcB4 亮点 Q8nId<\( 导出各种表面形状的制造数据 d)ahF[82 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 vjUp *R>h S Xr%kndS
'Jj=RAV` 一般界面的制造数据 S#l5y%& "484n/D Ng=ONh
I 3$dVls} 支持文件格式: diT=x52 - 纯文本 n/Dp"4H%q - ASCII码 tWPO]3hW - 点云 \>Zvev!s
- CAD格式(例如,STL,IGES) zfI}Q}p ftbpqp' STL导出平滑界面(例如Asphere) l=m(mf?QBg MuI2?:~:*4 采样高度剖面的STL导出 l*=aMjd? X[3}?,aqL Dr#c)P~Wd
3iX?~ 量化界面的GDSII导出 \_BkY%a 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 {6Au3gt/ 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 g P}+wbk E-2eOT 8|g<X1H{M 文档和技术信息 +9A\HQ|22 []pN$]+c `BXS)xj PC用于模拟的规格 [k%4eO2p " 6,b"
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