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2020-10-28 09:35 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 `37GVo4 m7XJe[O 任务说明 #f'(8JjY |m%M$^sZ} a*pZcv< PSdH9ea 灵活地导出制造数据: :);]E-ch - 平滑的界面 4pF U` g= - 量化界面 rI:KZ}GZ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 1 ]@}+H )r2$/QF9 亮点 s'^zudx 导出各种表面形状的制造数据 {I|k@ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ."Yub];H gKZ{ O
G5Ci"0 一般界面的制造数据 /s%I(iP4 $p4aNC H&L=WF+x QD:0iD? 支持文件格式: 8-5a*vV,> - 纯文本 x~GV#c - ASCII码 6QRfju' - 点云 ~MY(6P - CAD格式(例如,STL,IGES) F_~-o,\ 'KGY;8<x] STL导出平滑界面(例如Asphere) &,Q{l$`X <LW|m7 采样高度剖面的STL导出 \i-jME(sN (Df<QC`0v $UjSP
.;tO;j|6 量化界面的GDSII导出 2vnzB8"k 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 E|9LUPcb 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 `OQ&u Z"?AaD[
A!k} 文档和技术信息 0iXqAa BHmA*3? lSyp
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