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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 J Enjc/  
&Vlno*  
任务/系统说明 IwyA4Ak Ru  
>M<3!?fW)  
3",gjXmBu  
so-5%S  
亮点 PRh C1#  
{oQs*`=l>  
 s:T%, xS  
UHl3/m7g  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） {lI}a8DP  
 严格分析光栅衍射效率 -#\T  
 考虑入射光的方向分布 Yh<F-WOo2  
~ #jQFyOh  
说明：光源 dX[I :,z*  
&PMQ]B  
y_X6{}Ke  
yF)o_OA[uR  
说明：光束分束器 Ycr3$n]e  
~Ntk -p  
F^dJ{<yX  
Xaz "!  
说明：检测透镜系统 UP]( 1lAf  
JVAyiNIH>M  
|$WHw*F^  
%i9S"  
说明：微型晶片 >8Oa(9n  
Mc,79Ix"  
-H?c4? 5  
/|EdpHx0  
说明：检测物镜 {&1L &f<  
!HTOE@  
[YvS#M3T  
gM96RY  
说明：探测器 t=%zY~P  
d) -(C1f  
VDxm|7  
aCZ0-X?c  
结果：3D光线追迹（只有0级） u]ms~rO  
K^WDA])  
{"o9pIh{~  
J/]%zwDwS  
结果：3D光线追迹（所有级） r8:r}Qj2w[  
yP"2.9\erH  
!W}sOK7#  
Nl\`xl6y]  
结果：光线追迹 {B$CqsvJ  
OVLVsNg  
 eWH0zswG  
'#Wx@  
结果：场追迹 TXImmkC  
}Rh\JDiQ  
 6uE20O<z]  
@eYpARF  
结果：线性偏振光的场追迹 &8IBf8  
2 ZK]}&yC  
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文档和技术信息 0|e[o"  
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QQ：2987619807 mSYjc)z  
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