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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 H"Klj_<dH0  
EwS!]h?  
任务/系统说明 fK&e7j`qO  
/XudV2P-CA  
'|7Woxl9  
/T,Z>R  
亮点 ^m/14MN|  
=?h~.lo  
 QZX~T|Ckv  
1xU3#b&2tC  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） ^'p|!`:  
 严格分析光栅衍射效率 `MEYd U1  
 考虑入射光的方向分布 vA)O {W\o  
341?0 %=  
说明：光源 @$"L:1_  
5/gDK+%4D(  
Y%|@R3[Nk  
;. wX@  
说明：光束分束器 UZEI:k,dv  
=&!HwOnp  
5'w^@Rs5  
QQe;1O  
说明：检测透镜系统 G pbC M~x  
SEl#FWR  
Y~)T  
4wi(?  
说明：微型晶片 Z+pom7A"E  
E42eOGp9i  
`.#@@5e  
qzFQEepso  
说明：检测物镜 .Hc(y7HV  
VR!-%H\AW  
O+=vEp(  
H0a/(4/xg  
说明：探测器 i)Lp7m z  
O[9-:,B{w  
:Vg}V"QR  
k>E`s<3  
结果：3D光线追迹（只有0级） _ nP;Fx  
M+wt_ _vHf  
JaWv]@9*  
7n)&FX K`  
结果：3D光线追迹（所有级） A=Dhod  
VGw(6`|!  
h{ lDxOH*  
%~j2 ('Y  
结果：光线追迹 <DH*~tLp2  
7%OKH<i\2<  
 qQ7w&9r.M  
z"DkFvA  
结果：场追迹 )a=/8ofe  
NHw x:-RH  
 R7~Yw*#,  
rOD1_X-  
结果：线性偏振光的场追迹 6@tvRDeaDW  
]%RNA:(F'  
L;W.pe0  
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文档和技术信息 ,J mbqOV?!  
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QQ：2987619807 LF*Q!  
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