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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 U{"f.Z:Ydo  
$.wA?`1aSk  
任务/系统说明 NaF(\j  
_$8{;1$T?  
r?\|f:M3  
\<X2ns@Tf  
亮点 Ey'J]KVW  
?d4Boe0-a2  
 R+d< fe  
inZi3@h)T  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 7RD$=?oO'  
 严格分析光栅衍射效率 2yvVeo&3  
 考虑入射光的方向分布 t=Jm|wJnUA  
(|dPeix|  
说明：光源 <FQFv IKg  
+ZclGchw  
  La9r  
zi }(^~Fe  
说明：光束分束器 ^Z#@3 =  
* MEe,4  
|0kXCq  
Sl"BK0:%7  
说明：检测透镜系统 9#Bx]wy  
d/]|657u  
~p\n&{P0  
Yy hny[fa9  
说明：微型晶片 7TpRCq#  
Tm_8<$ 7  
J(e7{aRJ9  
csDQva\  
说明：检测物镜 m2O&2[g  
?}8IQxU  
_=EZ `!%  
TF\sP8>V  
说明：探测器 /zT`Y=1  
@1bH}QS  
76bc]o#  
TBnvV 5_  
结果：3D光线追迹（只有0级） /H)Br~ l  
6,+nRiZ  
A=X-;N#  
EnJ!mr  
结果：3D光线追迹（所有级） p411 `]Zf  
3D_"y Z  
pj; I)-d/  
NXI[q 'y  
结果：光线追迹 [zh"x#AyI  
uPLErO9Es[  
 Hb!6Z EmN%  
56{I`QjX  
结果：场追迹 si(cOCj/  
 D:JS)+]  
 r~>,$[|n})  
wkBL=a  
结果：线性偏振光的场追迹 j?-R]^-5  
Qn|+eLY  
,2,5Odrz  
 9/kXc4  
文档和技术信息 S GM!#K  
1'O0`Me>#  
 eW50s`bKY  
@Y-TOCadT  
 CW`!}yu%  
QQ：2987619807 CT*,<l-D  
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