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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 ~l {*XM  
/;5U-<qf  
任务/系统说明 '%Fg+cZN\  
stxei 6  
_PPZ!r(  
.4CCR[Het  
亮点 5:R$xgc  
ov3FKMG?  
 c/Dk*.xy<  
mYUR(*[  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 3#\++h]QZ  
 严格分析光栅衍射效率 "FD`1  
 考虑入射光的方向分布  lL\%eQ  
*r)/Vx`S  
说明：光源 bm>N~DC  
K UD.hK.  
Ppton+?(  
!l6Ez_'  
说明：光束分束器 k`we_$/Gw  
#}xw *)3  
o:wI{?%-3  
QG1+*J76b@  
说明：检测透镜系统 ?8U#,qq#`  
C(%b!Q,2  
02 $d  
%~e+H|  
说明：微型晶片 .#q]{j@Ot  
`{KdmWhW  
8NZQTRdH  
8l.bT|#O  
说明：检测物镜 IgIM8"N  
OA7YWk<K  
W5*Kq^6Pd  
1a gNwFd~  
说明：探测器 Xi~7pH  
:{LNr!I?I  
ROhhd.  
9 _oAs"w  
结果：3D光线追迹（只有0级） $xU)t&Df  
Y&uwi:_g  
A.9ZFFz  
56?RFnZ&j  
结果：3D光线追迹（所有级） H/2dVUU  
eKUP,y;[I  
9,?7mgZ p  
rD;R9b"J  
结果：光线追迹 drQI@sPp  
yE#.Q<4  
 Y'^+ KU  
F$j?}  
结果：场追迹 ^O3i)GO  
Et! 6i7`]  
 ["_+~*  
],~H3u=s3  
结果：线性偏振光的场追迹 2C Fgit  
J#DN2y <  
%<O0Yenu  
 ~H c5M5m  
文档和技术信息 $KVCEe!X  
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R=J5L36F  
 P,rD{ 0~  
QQ：2987619807 #9glGPR(  
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