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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 __uk/2q  
MSp) Jc  
任务/系统说明 kmlO}0  
blP8"(U  
@at*E%T[  
8/y8tMm]  
亮点 iCGHcN^3  
Lm.N {NV'  
 M?<iQxtyb}  
mq(K_  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） hYA1N&yz@  
 严格分析光栅衍射效率 X4Uy3TV>  
 考虑入射光的方向分布 .<YfnW5/K  
U[q39FR  
说明：光源 _j{)%%?r  
P!)F1U]!  
/Tw $} 8  
vfVF^ WOd  
说明：光束分束器 kFT*So`'  
BvHI}=  
y]!mN  
hh.`Yu L  
说明：检测透镜系统 p_fsEY  
jxq89x  
9\E];~"iP  
M0)ZJti  
说明：微型晶片 x #|t#N%  
.%\||1F<  
N[DKA1Ei  
ymR AQVv  
说明：检测物镜 us<dw@P7{  
M?n}{0E4  
;L$l0(OO  
>Il{{{\>  
说明：探测器 @)z?i  
/R( .7N  
OKj\>3  
>=1UhHFNI  
结果：3D光线追迹（只有0级）  ZLf(m35  
qV``' _=<  
?8<R)hJa<  
uhwCC  
结果：3D光线追迹（所有级） ZKB27D_vg>  
%T;VS-f  
Q%V530 P;  
C [8='i26  
结果：光线追迹 /de~+I5AB~  
"Gq%^^ *  
 />7G  
C6D Eq>v  
结果：场追迹 F7=&CW 0  
#,!/Cnqis  
 ! ;Ctz'wz  
nQfSQMg  
结果：线性偏振光的场追迹 Xcg+ SOB  
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SK,UW6h  
 j<w5xY  
文档和技术信息 ;M *G  
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QQ：2987619807 _o>?\:A  
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