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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2020-10-16 10:08
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
Jy#21
V7Mp<x%
任务/系统说明
Dj{t[z]$k
MB(l*ju0
BIEeHN4
HNL;s5gq
亮点
v0~*?m4
_dw6 C2]P
X$$b :q
G2_l}q~
在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
i<uk}
严格分析光栅衍射效率
JKYkS*.a}
考虑入射光的方向分布
.:+&2#b
IqmQQ_KH
说明:光源
ew6\Z$1c~
F5EsaF'e4
e^Lt{/
,~xX[uB
说明:光束分束器
h*X u/aOg
^U@Erc#d
hXsH9R
7S]akcT/
说明:检测透镜系统
!T8h+3I
km#Rh^
yBwCFn.uP-
}Dc?Emb
说明:微型晶片
XnI)s^
g6 T /k7a
dWAKIBe
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说明:检测物镜
B[6y2+6$0
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j; )-K 3Ia
h"+|)'*n
说明:探测器
VWR6/,N^_
4XL]~3 c
By-A1|4Cp`
d|(@#*{T]
结果:3D光线追迹(只有0级)
J+6bp0RIh
2OJ=Xb1
F`\7&'I
} h pTS_
结果:3D光线追迹(所有级)
PE-P(T3s[8
<[mvfw
Ss~dK-{e7
XQ]5W(EP
结果:光线追迹
F)g.xQ
89{@ 2TXR
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结果:场追迹
Tp0^dZ M+
L=wg"$
$5)ZaYx<
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结果:线性偏振光的场追迹
D.\s mk
=5sUpPV(
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文档和技术信息
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QQ:2987619807
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