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2020-09-29 10:03 |
用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 r~fl=2>yQ M-K@n$k 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 & c9Fw:f; @#Uiy5N S!!\!w>N 建模任务 f=O>\ |{IU<o
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