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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 0R(['s:3`  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 m c@Z+t'  
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建模任务 c*" P+  
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概观 hg'eSU$J  
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光线追迹仿真 h2:TbQ  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ^r7KEeVD  
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•点击Go! q$}J/w(,  
•获得3D光线追迹结果。 {cdrMP@""  
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光线追迹仿真 ,5 3`t  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 3(.Y>er%U  
•单击Go! Zx6h%l,%  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 puEu)m^  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 [+}0K{(O=  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) ?\X9Ei  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 .=hVto[QC  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 j``Ku@/x0  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 rO/Sj<0^  
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场追迹结果(电磁场探测器) Hbu :HFJ!  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 /Vx EqIK  
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QQ:2987619807 "`a,/h'  
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