首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2020-08-27 09:30
高NA物镜聚焦的分析
摘要
h^tU*"
K_fQFuj+
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
/hojm6MM
*gJ:irah
<Ag`pZ<s
~BSIp .
建模任务
Oc51|[ Wj
nO'lN<L
&<s[(w!%%
概观
vw;GbQH(
r&u&$"c
*kliI]BF]
光线追迹仿真
] BJ]
XtJ_po
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
kb27$4mm
-*Voui
•点击Go!
zNu>25/)(
•获得3D光线追迹结果。
)&Bf%1>
.ykCmznf*
y@5{.jsr_
&.> 2@
光线追迹仿真
gJkk0wokC
*gq~~(jH
'Mfn:n+
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
V<ZohB?y
•单击Go!
tSP)'N<
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
hzT,0<nw
iiWs]5
)} I>"n
oj|\NlR
场追迹仿真
o@&Hc bN^
m0: IFE($
@Kx@ 2#~b
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
|;G9K`8
•单击Go!
5gdsV4DH$
@w%{yzr%
{0&'XA=j
20Umjw.D
场追迹结果(摄像机探测器)
Z{9 mZlIy
5uVSbo.
%Sgdhgk1
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
cgQ4 JY/6
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
Ju0W
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
l7+[Zn/v *
7Fg-}lJAC
7a,/DI2o
u%o2BLx
场追迹结果(电磁场探测器)
lg9`Z>?
"kS(b4^
O|5Z-r0<
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
i`FskEoijq
0q@U>#
Y(qyuS3h~*
文件信息
pb\W7G
u?ALZxj?
^Yz.}a##w2
X\Y:9^5
)L,.KO
QQ:2987619807
o 0-3[W'x<
查看本帖完整版本: [--
高NA物镜聚焦的分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2026
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计