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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 Bjo&  
c|.:J]  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 }2 r08,m  
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建模任务 j |i6/Pk9J  
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概观 qnS7z%H8  
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光线追迹仿真 f2u2Ns0Ym  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 [T%blaSX  
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•点击Go! C\; 8l}t  
•获得3D光线追迹结果。 >ahj|pm  
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kb:C>Y8!sC  
光线追迹仿真 C IDL{i8  
KCT8Q!\  
I;v`o{  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 cR&xl^BJ  
•单击Go! #TWc` 8  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 aOHCr>po,  
:=Q|gRTL*  
>gZz`CH  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 vck$@3*  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) zvf]}mNx  
W.|6$hRl)  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 ^ ?=K)  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 y]l"u=$Tr{  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 752wK|o0|;  
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场追迹结果(电磁场探测器) W~%~^2g ;k  
W/>?1+r.Z  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 f}X8|GlBo  
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QQ:2987619807 XijLS7Aw|  
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