首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 h^tU*"   
K_fQFuj+  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 /hojm6MM  
*gJ:irah  
<Ag`pZ<s  
~BS Ip .  
建模任务 Oc51|[ Wj  
nO'lN<L  
&<s[(w!%%  
概观 vw;GbQH(  
r&u&$ "c  
*kliI]B F]  
光线追迹仿真 ] BJ]  
XtJ _po  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 kb27$4mm  
-*Voui  
•点击Go! zNu>25/)(  
•获得3D光线追迹结果。 )&Bf%1>  
.ykCmznf*  
y@5{.jsr_  
&.> 2@  
光线追迹仿真 gJkk0wok C  
*gq~~(jH  
'Mfn:n+  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 V<ZohB?y  
•单击Go! tSP)'N<  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
hzT,0<nw  
iiWs]5  
)} I>"n  
oj|\NlR  
场追迹仿真 o@&Hc bN^  
m0: IFE($  
@Kx@ 2#~b  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 |;G9K`8  
•单击Go!
5gdsV4DH$  
@w%{yzr%  
{0&'XA=j  
20Umjw.D  
场追迹结果(摄像机探测器) Z{9 mZ lIy  
5uVSbo.  
%Sgdhgk1  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 cgQ4JY/6  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 Ju0W  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 l7+[Zn/v *  
7Fg-}lJAC  
7a,/DI2o  
u%o2BLx  
场追迹结果(电磁场探测器) lg9`Z>?  
"kS(b4^  
O|5Z-r0<  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
i`FskEoijq  
0q@U>#  
Y(qyuS3h~*  
文件信息 pb\W7G  
u?ALZxj?  
^Yz.}a##w2  
X\ Y:9^5  
)L,.K O  
QQ:2987619807 o 0-3[W'x<  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2026 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计