首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 }/dk2!?ig  
2HtsSS#0Q  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 jB8Q% {%  
+@=V}IO  
?V,q&=9  
w+/`l*  
建模任务 0u1ZU4+EC  
)i}j\";>L  
GA[Ebzi  
概观 g!R7CRt%  
\?; `_E`j  
u [._RA  
光线追迹仿真  D3cJIVM  
KEtV  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 x>}ml\R  
@>HTbs6W  
•点击Go! h <e  
•获得3D光线追迹结果。 r5DR F4,7  
HD^#"  
JcWp14~e  
W w,\s5Uw  
光线追迹仿真 c`soVqT$?  
)[ A-d(y=  
q0NFz mG  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 :D*U4< /u  
•单击Go! z~#;[bER  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
=SXdO)%2  
J-hJqR*;K  
T9 /;$6s*  
q2*A'C  
场追迹仿真 Z+&V  >  
3]l)uoNt/  
G IN|cv=  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 w}gmVJ#p  
•单击Go!
=p8uP5H  
tw_o?9  
SLKpl LO  
xvV";o  
场追迹结果(摄像机探测器) 5p (zhfuG  
2)n`Bd  
QWk3y"5n<  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 v>_@D@pr  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 I/`"lAFe  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 U05;qKgkDF  
A`n>9|R  
3>KEl^1DB  
/K#k_k  
场追迹结果(电磁场探测器) VHxBs  
/W/e%.  
=]%JTGdp(  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
w}ji]V}  
|-Uh3WUE6  
CRK%^3g  
文件信息 1Cw]~jh  
F_Y]>,U  
4j#y?^s  
ZwkUd-=0i  
ib=)N)l  
QQ:2987619807 w:t~M[kTW  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计