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探针台 2020-07-24 14:29

芯片失效分析实验室经验

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芯片行业是信息技术产业的核心,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。芯片失效分析实验室,配备了国外先进的等离子蚀刻机(RIE)、光学显微镜、电子显微镜(SEM)和聚焦离子束机(FIB)等设备,满足各项失效分析服务的要求。 e_.~n<=  
  公司拥有一套完善的失效分析流程及多种分析手段,全方位保证工程质量及项目文件的准确无误。 a4by^   
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失效分析流程: 3o0IjZ=[>  
1、外观检查,识别crack,burnt mark等问题,拍照。 l1RlYl5  
2、非破坏性分析:主要用xray查看内部结构,csam—查看是否存在delamination @ ;J|xkJ  
3、进行电测。 wE2x:Ge:  
4、进行破坏性分析:即机械机械decap或化学decap等 A-0m8<  
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常用分析手段: cx:jUsb6  
1、X-Ray 无损侦测,可用于检测 zJ_My&~  
* IC封装中的各种缺陷如层剥离、爆裂、空洞以及打线的完整性 gA+YtU{z  
* PCB制程中可能存在的缺陷如对齐不良或桥接 vnZ/tF  
* 开路、短路或不正常连接的缺陷 p JX, n  
* 封装中的锡球完整性 t>oM%/H  
2、SAT超声波探伤仪/扫描超声波显微镜 {6tx,;r(F  
    可对IC封装内部结构进行非破坏性检测, 有效检出因水气或热能所造成的各种破坏如﹕ ?h&l tD  
    晶元面脱层 qKs7WBRJy  
    锡球、晶元或填胶中的裂缝 Wa/geQE1<  
    封装材料内部的气孔 (WMLNv  
    各种孔洞如晶元接合面、锡球、填胶等处的孔洞 _z%\'(l+  
3、SEM扫描电镜/EDX能量弥散X光仪 4 Q&mC"  
    可用于材料结构分析/缺陷观察,元素组成常规微区分析,精确测量元器件尺寸 +V89J!7  
4、常用漏电流路径分析手段:EMMI微光显微镜    EMMI微光显微镜用于侦测ESD,Latch up, I/O Leakage, junction defect, hot electrons , oxide current leakage等所造成的异常。 k>-'AWH^v  
    5、Probe Station 探针台/Probing Test探针测试,可用来直接观测IC内部信号 UP*yeT,P,  
6、ESD/Latch-up静电放电/闩锁效用测试 I,9~*^$  
7、FIB切点分析 #tP )-ww  
8、封装去除 5j1 IH,yW  
   先进的开盖设备和丰富的操作经验,能够安全快速去除各种类型的芯片封装,专业提供芯片开盖与取晶粒服务。
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