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infotek 2020-07-14 10:25

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 ~ $I2{I#W  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 O{" A3f  
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VirtualLab Fusion一瞥 dO Y+| P\  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 J[<3Je=>$  
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构建光栅结构 u(KeS`  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] htg+V-,  
−倾斜光栅高级设定[用例] 45` Gv  
•光栅衍射效率分析 l7 D/ ]&  
−光栅阶序分析器[用例] ]2Aqqy  
•使用参数优化进行光栅参数优化 o{\@7'G  
•使用参数运行的容差分析 %^RlE@l9  
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VirtualLab Fusion技术 WU1 I>i  
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