飞跃小河 |
2020-05-26 16:38 |
小型光学粗糙度传感器Horos
a`L:E'|B9 1.Horos—光学粗糙度传感器。 vJL Gy] 2.测量样本。 j$K*R." 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 ]{oZn5F 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 (+c1 .h q3AqU?f 系统简介 )adV`V%=> AdVc1v&> 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 tI1OmhNN OvAhp&k 特征及技术参数 *,mI=1 ~:{05W - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 om`T/@_, - 灵敏度R_q<0.5 nm ')U~a - 测量时间: < 1 s。 s3HVX' - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 T]ls&cW5 Dn6U8s& +x(#e'6p 传感器: U@M3.[jw J91[w?, Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 H T|DT I]^>>>p$ 应用: ;xZjt4M1 z%OKv[/N 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: )\|+G5#` - 平面或复杂(自由形状)表面。 &W,jR|B
- 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 K#YQB3rX - 机械零件。 tO&ffZP8$ - 汽车工业。 IdQ./@? =5q<_as 51SmoFbMz QQ:1824712522 P(hGkY=(
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