| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： #6Xs.*b5C
电子光学 2A4FaBq"
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: +Taa!hfys
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 -Xz?s
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 c= UU"
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 U=bEA1*@0
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 BiE08,nj
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴
L w1T 4n
· 两级扫描偏转 ^ 4%Zvl
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 /8@m<CW2Y
· 快速电子束闸* -#-p1^v}
· 用户向导和镜筒预设 ! #wd Ve_(
· 电子源寿命至少24个月 H* !EP
电子束分辨率 s!/TU{8J
zui佳工作距离下 7iu Q9q^&
· 30keV 下 STEM 0.7nm A5#y?Aq
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm 3+M B5 T
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* 4t4olkK3Oa
4([.x T
电子束参数 ~Lfcg*
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA ]43[6Im
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) a :SQ16_?
· 放大倍数范围：40x-1200x ;%J5=f% z)
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm *X%m@KLIKv
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 1|,Pq 9
|
|