| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： A,/S/_Q=
电子光学 33C#iR1(WJ
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: 1FX-# Y `e
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 8| /YxF<
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 }?^G= IP4(
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 }A;Xd/,'r
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 ] 7O?c=
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 'mM5l *{
· 两级扫描偏转 q.t5L=l^
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· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 `F@yZ4L3 S
· 快速电子束闸* M>#{~zr
· 用户向导和镜筒预设 h^)2:0#{I
· 电子源寿命至少24个月 3^a"$VW1
电子束分辨率 5%$#3LT|
zui佳工作距离下 ^eRuj)$5A
· 30keV 下 STEM 0.7nm Sq'z<}o
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm V]2z5u_q
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* 8K/lpqw
Ww~0k!8,t
电子束参数 5W48z%MN
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA |+bG~~~%j
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) zl[JnVF\6
· 放大倍数范围：40x-1200x H#y"3E<s
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm 8 FITcK^
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 GS H{1VS_b
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