| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： a *
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电子光学 %).I &)i
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: H" A@Q.'
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 >TM{2b,(p
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 f3n^Sw&Q(Q
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 Sh5)36
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 Vt \g9-[
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 -hfkF+=U'
· 两级扫描偏转 !-n* ]C
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 <+r~?X_
· 快速电子束闸* p
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· 用户向导和镜筒预设 5(\/ b<#
· 电子源寿命至少24个月 |OAiHSW"V
电子束分辨率 \v+c.
zui佳工作距离下 Nxl #]
· 30keV 下 STEM 0.7nm x5xMr .vm
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm {S- M] LE
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* |:4W5>sfg
^K: :g)
电子束参数 pzjNi=vhd
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA ZU0*iA
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) 3!cenyE
· 放大倍数范围：40x-1200x wj0_ X;L
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm I(kEvfxc"
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 %Jd!x{a`>A
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