| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： #KC& ct
电子光学 d QD YN_
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: p 8,wr )
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 [LDV*79Z
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 0 K
T.@P
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 Eiqx1Z M
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 -;5WMX 6
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 oPSucz&s
· 两级扫描偏转 H Aq
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 'CE3
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· 快速电子束闸* clE_a?
· 用户向导和镜筒预设 #bxU I{*J
· 电子源寿命至少24个月 > /,7j:X
电子束分辨率 ?`wO
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zui佳工作距离下 2Zf} t
· 30keV 下 STEM 0.7nm A *;I}F
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm -6wjc rTD
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* :~K c"Pg
H7&>c M
电子束参数 )tB:g.2k
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA ELh`|X
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) ZE+VLV v
· 放大倍数范围：40x-1200x ^FaBaDcnl
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm W{pyU \
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 -4
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