| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： qg$ <oL@~~
电子光学 _u Il
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: 'c~4+o4co
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 pK4)yu+
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 eJX#@`K
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 t#yuOUg
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 @}Z Vtrz
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 '<uq3?5
· 两级扫描偏转 ! `r$"}g
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 (tO\)aS=
· 快速电子束闸* ,fRq5"?
· 用户向导和镜筒预设 &e3.:[~_?
· 电子源寿命至少24个月 _VXN#@y
电子束分辨率 dF2RH)Ud
zui佳工作距离下 ")25
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· 30keV 下 STEM 0.7nm o !7va "
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm e:W{OIz:
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* }PpUAt~ g
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电子束参数 Mb=" Te>|
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA 3 gf1ownC
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) :gC#hmm^
· 放大倍数范围：40x-1200x :v 4]D4\o
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm 4GM6)"#d
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 XX~,>Q}H=
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