| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： S*]IR"YL
电子光学 *0iP*j/]
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: fT@ #S}t
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 U/ZbE?it>
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 87HV D Di
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 mrJQB I+
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 +F/ '+
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 zso.?`85
· 两级扫描偏转 T#( s2
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 \\'! <Bn2d
· 快速电子束闸* )~5`A*Ku
· 用户向导和镜筒预设 [qy@g 5`
· 电子源寿命至少24个月 s <5t}{x
电子束分辨率 9+/<[w7
zui佳工作距离下 1|gEY;Ru
· 30keV 下 STEM 0.7nm ,wq.C6;&
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm fer'2(G?W
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* K.cNx
GJW1 |Fk
电子束参数 KavRW.w
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA ,mRN;|N
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) u54+oh|,M
· 放大倍数范围：40x-1200x 5!5P\o
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm @^P=jXi<
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 w,l1&=d
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