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飞跃小河 2020-04-26 17:38

全场光学相干扫描干涉仪

摘要 J[^-k!9M  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 m$U2|5un&  
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建模任务 ETmfy}V8  
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仿真干涉条纹 Tfj%Sb,zM  
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走进VirtualLab Fusion V ] Z{0  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 O5E\#*<K  
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•设置输入场 1;>J9  
       −基本光源模型[教程视频] ;0 ,-ywK  
       •使用导入的数据自定义表面轮廓 9Y0w SOSW  
       •定义元件的位置和方向 6<gh:vj  
       − LPD II:位置和方向[教程视频]QQ1824712522
SI-s:%O  
•正确设置通道以进行非序列追迹 yAaMYF@  
−非序列追迹的通道设置[用例] _/hWzj=q  
       •使用参数运行检查影响/变化 )!3sB{ H  
       −参数运行文档的使用[用例] H>2)R 7h  
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+dlN^P647  
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VirtualLab Fusion技术 8^kw  
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文件信息 q5Z]Z.%3O  
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