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探针台 2020-04-26 15:00

FEI Scios 2 DualBeam应用介绍

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聚焦离子束显微镜FIB/SEM/EDX FEI Scios 2 DualBeam技术指标 6R5Qy]]E  
技术指标 D0q ":WvE  
1、电子束电流范围:1 pA - 400 nA; K@#L)VT!  
2、电子束电压:200eV-30 keV,具有减速模式 f9;(C4+  
3、电子束分辨率:0.7 nm (30 keV)、1.4 nm(1 keV) Uwi7)  
4、大束流Sidewinder离子镜筒; E!#WnSpnK  
5、离子束加速电压500V-30kV(分辨率:3.0 nm); *:NQ&y*uj  
6、离子束束流1.5pA-65nA,15孔光阑。 jSAjcLR  
Q|L~=9  
配置情况 +{U cspqM  
1、GIS气体注入:Pt沉积 rD>f|kA?L  
2ETD SE、T1(筒内低位)、T(高位)探头 JZ#[ 2mLh  
3Nav-camTM:样品室内光学导航相机 N!|wo:  
4AutoTEM4、Autoslice、Map for3D自动拼图、NanoBuilder纳米加工软件。 V_:&S2j  
V!dtF,tH  
适用样品 x=jK:3BF  
半导体、金属、陶瓷材料微纳加工及观察分析,成分分析 kxRV )G  
yA>nli=  
检测内容 +U.I( 83F  
1IC芯片电路修改 T5:G$-qL(  
2Cross-Section 截面分析 uH-)y,2&  
3Probing Pad p"Z-6m~  
4FIB微纳加工 4g7)iL^#~  
5材料鉴定 =>dGL|  
6EDX成分分析 9k~8  
[attachment=100144] 5BJmA2L  
设备简介 PY0j 9$i?  
FEI Scios 2 DualBeam系统在Scios系统的基础上进行了升级,更加适用于金属、复合材料和涂层,特点是适用磁性样品、借助漂移抑制对不导电的样品可以进行操作、Trinity检测套件可同步检测材料、形态和边缘对比对度,大大提高效率、软件可以实现三维数据立方体分析金属中夹杂物大小和分布、独有的工作流模式,可以设定程序,降低操作员的难度。在超大样品仓中集成了大尺寸的五轴电动样品台,XY轴具有110mm移动范围,Z方向具有85mm升降空间。 z"4~P3>{g  
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