小火龙果

2020-04-13 16:52

SYNOPSYS中的MTF分析方法

SYNOPSYS中由许多MTF分析方法，都可在对话框MOP中找到，也可使用命令。
一、卷积 MTF，精确 OPD（MTF）；卷积 MTF，插入 OPD（ZMTF）。
1. 单一频率显示：
[attachment=99800]

[ Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR FREQ [ GRID ] GBAR

2.通过可选绘制图分析21个频率显示：

[attachment=99801]

[Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR 0 [ GRID ] GBAR [ P ]

第一种方式是在FREQ的空间频率下计算子午和弧矢的MTF，对于聚焦透镜而言频率单位为 cy / mm，对于 AFOCAL 而言频率单位为 cy / mr。助记符“MTF”使用精确光线选项，而“ZMTF”使用波前插值法。如果开关 84 关闭，这是 Zernike 展开式，如果开启，则是线性样式。可以为 ICOL 输入明确的颜色编号，为主要颜色输入字母“P”，或者输入字母“M”，表示多色分析。如果输入 P，则第二种形式给出 21 个频率的 MTF，并且可选地给出曲线图。

二、多视场卷积 MTF，精确 OPD（ MFF）；多视场卷积 MTF，插值 OPD（ MZMTF）

从对话框MMF中或命令模式下获得四个视场点的卷积MTF。

[attachment=99802]

MFF (exact-ray method)

或 MZMTF [ GRID ] (Interpolationmethod)

[ HBAR HBAR HBAR HBAR HBAR …]

[ HGEN NHBAR]

ICOL{ICOL/M/P}

[GBAR GBAR]

{PLOT/GO}

当没有给出 HBAR条目时，默认视场为 0,0.5,0.75 和 1.0。 HGEN条目创建了一个 NHBAR 视场的数组,均匀分布在 0 到 1.0 之间。在 HBAR或 NHBAR 上可以指定最多 20 个视场点。

MZMTF 选项使用的是波前插值法，如果开关 84 关闭，它将是一个 Zernike 展开式，如果开关 84 打开，它将是一个线性样式。这些情况可以接受可选的[GRID]输入(默认为 80)。

如果透镜校正不好，并且您想在低频下检查 MTF，那么在打开开关 84 的情况下，使用 MZMTF 选项可以获得更好的精度。

三、卷积 MTF视场（MOF）； MOF的插值（ZMOF）

[attachment=99803]

[Z]MOF { ICOL / M / P } 0 FREQ { GRID/ 0 } GBAR [ Q ] [FREQ FREQ FREQ]

这里， MOF 利用精确的光线衍射 MTF 计算，并且 ZMOF在光瞳上插入每个点得到近似 OPD，如果开关 84 关闭则使用 Zernike 方法，如果开启则使用线性样式。

FMOF 和 FZMOF选项执行从 HBAR=-1 到+1 的完整跟踪，而其他选项执行从 0到+1 的跟踪。

FREQ 是第一个要分析的空间频率。
GRID 是网格编号，从 20 到 80; 这仅适用于插值选项。
GBAR 是倾斜视场点。必须为此定义倾斜视场以表示相关内容。
Q 设置 quiet 操作：程序将不会列出所有绘制的 MTF。
FREQ ...最多可以分析三个空间频率。

四、焦点卷积 MTF（TFMTF）

[attachment=99804]

从对话框 MTM 中，可以在给定空间频率处将卷积 MTF 绘制为最多四个视场点和 10 个波长处的焦点位置的函数。命令模式输入是：

[attachment=99805]、

主波长中的默认值为 HBAR =（0,0.5,0.75,1.0）和 GBAR = 0。 “M”表示多色分析， “P”表示默认颜色。

HBAR 线路上可能设定最多 20 个视场点;如果输入视场，将生成一组 NHBAR字段点，这些点均匀分布在 0 到 1 之间。后者需要命令模式输入。

该程序还可以在最多四个空间频率的单个视场点处绘制 MTF。如果在命令行中设置多个频率，则将分析所有频率，并且仅使用第一个HBAR。在这种情况下，需要命令模式列表。

由于该程序使用精确光线追迹而不是某些其他 MTF 选项可用的插值选项，因此不应在低于衍射截止值的约 1/40 的空间频率下设置它。

该程序评估总共 7 个焦点位置，由焦点增量 DF 分隔。

五、傅立叶变换 MTF（DMTF）

[attachment=99806]

[W]DMTF {ICOL / M / P} HBAR NRYS 0 GBAR[P]

[attachment=99807]

六、几何 MTF(GMTF)

[attachment=99808]

[ FCO FREQ ]

GMTF{ ICOL / M / P } HBAR NRYS 0 GBAR [ P ]

其中ICOL-颜色编号，可选M指定使用先前输入的数据执行多色分析。P只设置主要颜色。

HBAR-指定物体Y分数坐标。

NRYS-给出所需的光线数量。GMTF要分析的图像可能包含多达20000条光线。

0-占位符，用于格式一致性。

GBAR-物体X分数坐标。

P-若输入，则绘制MTF。

七、焦点几何 MTF(TFG)

[attachment=99809]、

[ FCO FREQ ]

TFG{ ICOL / M / P } HBAR NRYS 0 GBAR [ P ]
DF { 1 / 3 / 5 }DELTAF

其中 DELTAF 是焦点偏移，根据DF输入，它将应用于1,3或5个单独的评估。
如果 ICOL 是颜色编号或“P”，则将追迹单一颜色，而字母“M”将生成多色 GMTF。

图像每个可包含多达 20,000 个光线，并且离焦运动沿着图像表面的局部 Z 轴展开。考虑所有孔径，渐晕和羽化，建议使用 FCO 输入。如果需要绘图，则应输入可选的[P]。

八、多视场几何 MTF（MGMTF）

[attachment=99810]

几何 MTF 可以在对话框 MMG中最多四个视场点处获得，也可以选择绘制，或在命令模式下最多输入20个视场。

FCOFREQUENCY

MGMTF NRYS
[HBARHBAR HBAR HBAR HBAR ......]
[HGENNHBAR]
ICOL{ICOL / M / P}
[GBARGBAR]
{PLOT/ GO}

当没有给出 HBAR 条目时，默认视场为 0， .5， .75 和 1.0。HBAR 线上最多可以给出 20 个视场， HGEN 将生成均匀间隔为 0 到 1 的 NHBAR 视场，必须使用 FCO 输入为此选项输入截止频率。