| 探针台 |
2020-04-13 11:53 |
聚焦离子束显微镜FIB/SEM/EDX技术指标
聚焦离子束显微镜FIB/SEM/EDX FEI Scios 2 DualBeam技术指标 \Mi#{0f +q
一、技术指标 + lO'wa7|3
1、电子束电流范围：1 pA - 400 nA； B94
&elu
2、电子束电压：200eV-30 keV，具有减速模式 SlT*C6f
3、电子束分辨率：0.7 nm (30 keV)、1.4 nm(1 keV) qJ[@:&:
4、大束流Sidewinder离子镜筒； k ~6- cx
5、离子束加速电压500V-30kV（分辨率：3.0 nm）； jOtX
60;
6、离子束束流1.5pA-65nA，15孔光阑。 sM\&. <B
#A <1aQ
二、配置情况 \k&1*b?h
1、GIS气体注入：Pt沉积 XKLF8~y8A
2、ETD SE、T1（筒内低位）、T（高位）探头 ?p8k{N(1
3、Nav-camTM：样品室内光学导航相机 |9NIG g 'n
4、AutoTEM4、Autoslice、Map for3D自动拼图、NanoBuilder纳米加工软件。 DOL%'k ?B
{^RG%
&S
三、适用样品 =L 0fZf
半导体、金属、陶瓷材料微纳加工及观察分析，成分分析 , &' Y
5A_4\YpDR
四、检测内容 9F_6}.O
1、IC芯片电路修改 Ht=$] Px
2、Cross-Section 截面分析 gAE!a Ky
3、Probing Pad /! ^P)yU,
4、FIB微纳加工 O<,r>b,
5、材料鉴定 ,# "(Z
6、EDX成分分析 8@7AE"
t;Wotfc[#0
五、设备简介 - 0~I Y
FEI Scios 2 DualBeam系统在Scios系统的基础上进行了升级，更加适用于金属、复合材料和涂层，特点是适用磁性样品、借助漂移抑制对不导电的样品可以进行操作、Trinity检测套件可同步检测材料、形态和边缘对比对度，大大提高效率、软件可以实现三维数据立方体分析金属中夹杂物大小和分布、独有的工作流模式，可以设定程序，降低操作员的难度。在超大样品仓中集成了大尺寸的五轴电动样品台，XY轴具有110mm移动范围，Z方向具有85mm升降空间。
|
|