使用SFIT命令对非球面数据拟合
SFIT Surface fit to data 当您想要表面的面型与（X，Y，Ｚ）坐标（如：由数字化干涉图产生的）相匹配时，SYNOPSYS可以计算曲面建模所需的系数。在程序中获得的大部分表面面型都能够匹配。（如果面型时旋转对称的，您也可以用CSAG，输入更简单）。 输入是： [attachment=99432] 88VI
_<
N , ,[V
必须在第二行输入所需的面型以及表面编号。在这个输入中，面型是下面的其中之一： [attachment=99436] [attachment=99437] u
s 8.nL/
u{ cb[M
这里给出22项幂级数多项式（R是轴向曲率半径）：
[attachment=99435] >FS}{O2c
@<yY Mo7
m^ /s}WEqp
\A6 }=
Zernike多项式： !p Q*m`X o
[attachment=99433] ,0eXg
[attachment=99434] !ScEA=
IdCE<Oj\
a@-bw4S D
3G'cDemc
如果包含[L]，则假定DZ变形输入与镜头单位相同。如果在单词２中存在任何其他条目或空白，则假定DZ信息处于主波长的波形中。可选输入D是一个阻尼因子，可用于防止在变形输入低于多项式约束时出现奇异性，该阻尼因子通过最小二乘法求解。但是最好输入足够大的变形数组来过度约束解。 X o[GD`t
SN是数据将被分配到的表面编号。可选输入APS是参考孔径，可被Zernike系数使用，其在该孔径上是正交的（默认是单位圆），也可被USS面型使用；APD是全孔径干涉图上的尺寸。 如果APS不等于APD，则（X，Y）干涉图坐标将自动缩放，以使APD处的位置变得等于APS。 如果在DEF之前打开switch 13，则还会生成输入文件列表和使用系数计算的变形表，该列表可以与原始输入数据进行比较，以检查曲线拟合的精度。 5cb8=W -
请注意，任何曲线拟合程序必须处理两个相互矛盾的要求：您想要拟合尽可能准确，同时您总是给出不准确的数据。物理测量，或数字化干涉图的结果，只有有限的精度。由于这些冲突，准确复制所有输入数据点的曲线可能会显示明显的振荡。也就是说，这些数据点之间的曲线可能是剧烈振荡的，而这些点本身非常准确。 N|%X/UjZ2.
处理这种冲突通常由两种办法。第一种是给出输入设置的阻尼因子。该参数的作用是根据系数的大小来控制拟合：较大的阻尼产生较低的系数和较平滑的曲线。拟合点在输入点处可能不那么准确，但这些点之间的振荡较少，结果可能比输入数据更准确。第二种方法，适用于Zernike拟合，即给出比实际CAO稍大的单位孔径尺寸。这使得程序使用多项式拟合数据，其中所有空间波长与较小的实际孔径相比较大。结果再次减小响应。您将不得不尝试这些方法，检查RSS拟合误差和拟合平滑度，如PUPIL或SPROFILE功能显示。 请注意，以前的版本中使用命令DEF，ZERNIKE和ZE4.这些格式仍然可用，但建议您使用新格式。 s@p:XO
这里给出一个实例： CCW !AG oI7W}
GET 1 8Vy/n^3)
ON 13 3 bT?4
CC: CONTOUR/SPROF 2 F 1 0 S{Zf}8?6$
SFIT L 0 18 30 U|b)Bw<P
1 POWER ==S^IBG
8.4657 31.471 4.72E-06 +U iJWO
15.027 -21.28 1.04E-05 .LGA0
-22.266 7.0026 1.38E-05 hW` o-'
5.166 26.108 1.01E-05 TAq[g|N-;
-20.408 10.799 1.41E-05 PbfgWGr
-22.255 9.6561 1.27E-05 89 {`GKWX
-9.7888 23.198 1.16E-05 $&Z<4:Flc
-24.157 8.4184 1.12E-05 7d/I"?=|rA
-24.281 5.2749 1.20E-05 R[rOzoNp0
5.1661 -22.621 1.36E-05 *J{E1])<a
2.883 -23.561 1.29E-05 0.42924 -23.924 1.27E-05 -1.19E-02 -25.942 1.04E-05 l5D4 ?`|
3.0878 -25.328 1.09E-05 (w vU;u
21.093 14.504 1.12E-05 C=bQ2t=Z
17.412 19.966 1.02E-05 eIOMW9Ivt
26.045 6.9241 9.75E-06 $W9dUR0
5.611 23.939 1.23E-05 g1 =>u
22.97 7.713 1.27E-05 fu?u~QZ8
13.705 -21.132 1.13E-05 }*b\=AS=
21.701 -11.102 1.24E-05 t^2$ ent
17.7 -15.779 1.31E-05 GiKhdy
-21.769 13.317 1.13E-05 4O:HT m
10.098 -19.747 1.49E-05 !}sF#
18.793 18.333 1.05E-05 v5&W)F
24.664 12.562 9.05E-06 d$8K,-M
13.136 -18.322 1.45E-05 w_DaldK*
-24.876 -9.0552 1.01E-05 9Q1w$t~Y
END 第一列X坐标，第二列Y坐标，第三列sag值。 |